刻蚀
。 当前能源绿色低碳转型进展如何?十四五是碳达峰的关键期、窗口期，能源领域应该如何发力?记者进行了采访。 可再生能源装机规模持续扩大 表面制绒、刻蚀清洗、丝网印刷在陕西西安隆基乐叶电池工厂的车间
行业发展历程，细数光伏行业的最高成就，见证着标杆的力量。
光能杯，始终与行业同在!
江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微
导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。 微导总部设在江苏无锡，由精英企业家和技术专家团队共同创立。微导的核心技术是先进的原子层沉积(ALD)和反应离子刻蚀(RIE)装备, 并为
(硅片清洗、半导体插片、玻璃插片)、清洗机(硅片清洗、石英管清洗、电极板清洗等)、脱胶机、单多晶制绒、制绒自动上下料、链式湿法刻蚀、刻蚀自动上下料等高端制造设备。 值得注意的是，携手鉴衡联合创新推出的
-刻蚀等工艺，比如Kaneka的方案，就高达8个工序，涉及5个不同设备，制程复杂而昂贵(见下表)。而主流PERC电池只需一道炉管扩散工艺就完成p-n结的制备。
(来源：公开信息，普乐科技
收集区)直接覆盖整个背面，不需要对准，省略了原开槽和刻蚀工序;
(3)从双面本征非晶硅到背面两层掺杂纳米晶硅层，可用一个设备连续沉积，适合大规模生产;
(4)整个工艺制程大幅缩减到10步，工艺简洁
金属接触复合成为限制常规结构太阳电池效率的瓶颈。产业化中金属化方式通常为丝网印刷后进行高温烧结，高温烧结的过程中金属浆料会刻蚀poly-Si形成穿刺(Spiking)，破坏钝化接触结构，导致金属
仍有一定差距，效率提升的空间更大; 2) 从工艺角度看，PERC 目前最成熟， TOPCon 需要在 PERC 产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而 HJT 电池工艺最简单、步骤最少
及检测等环节，电池片生产分为清洗制绒、扩散、刻蚀、覆膜及检测等环节，而到了组件环节包括串焊、层压机检测等工艺流程。较长的产业链涉及技术路线与工艺流程多，行业降本提效诉求下的技术迭代和扩产节奏加速，设备
在PERC产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而HJT电池工艺最简单、步骤最少(核心工艺仅4步)，但基本全部替换掉PERC产线，IBC电池工艺最难最复杂，需要是用离子注入工艺提供生产技术
沉积非晶硅薄膜方式。TOPCon 需要在 PERC 产线上增加扩散、 刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而 HJT 电池工艺最简单、步骤最少(核 心工艺 4到7 步)，但基本全部替换掉 PERC
大; 2)从工艺角度看，TOPCon与HJT实现功率提升的方式都是通过钝化，不过前者通过隧穿氧化层，HJT通过沉积非晶硅薄膜方式。TOPCon需要在PERC产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加
