刻蚀

、层压设备等 薄膜电池板生产设备： 非晶硅电池、铜铟镓二硒电池CIS/CIGS、镉碲薄膜电池CdTe、染料敏化 电池DSSC生产技术及研究设备 半导体生产设备： 全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜

PEN-ITO上做了高效刻蚀，精度超高，极大地降低了钙钛矿薄膜电池死区宽度，且无火山口。这标志着钙钛矿太阳能电池制作工艺流程的进一步简化，更容易被制造，这一突破，很可能改变整个太阳能电池的格局

，目前已经成为光伏行业全球研发及投资的热点。 首批产出的柔性钙钛矿薄膜基板，运用优化的超短激光脉冲工艺，有选择性地除掉吸收层，划掉背电极层，且不损坏基底，在PEN-ITO上做了高效刻蚀，精度超高，极大

半导体生产设备： 全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散\离子注入设备、湿法设备、过程检测等设备 B. 光伏电池： 光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件安装商、代理商、经销商及分销商、聚光电池等

、硼扩设备及湿法刻蚀设备，新增投资额约5000万元/GW。这三类设备目前均已实现了较高国产化。捷佳伟创、北方华创、拉普拉斯、48所等均可供货。 有头部企业引领投资，有国产设备替代解决成本问题，再加上本身的高发电效率，2021年，属于N型电池的春天终于来了！

%提高到2020年的4.1%。一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面CPU、千万门级FPGA等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量
芯片研发和规模制造能力。进一步提升先进封装测试产业规模。3．装备和材料。加快研制具有国际一流水平的刻蚀机、清洗机、离子注入机、量测设备等高端产品。开展核心装备关键零部件研发。提升12英寸硅片、先进光刻胶

HJT已经超过24%，但距极限效率仍有一定差距，效率提升的空间更大; 2) 从工艺角度看，PERC目前最成熟， TOPCon需要在 PERC 产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而

已经超过24%，但距极限效率仍有一定差距，效率提升的空间更大; 2) 从工艺角度看，PERC目前最成熟， TOPCon需要在 PERC 产线上增加扩散、刻蚀及沉积设备改造，成本增加幅度小;而HJT