刻蚀
导电氧化物(TCO)导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备;多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备(PECVD)、干法刻蚀机
制造企业带动作用，吸引高端装备龙头企业落户，支持本土优秀装备企业发展，研发生产硅基光电器件制造工艺和第三代半导体制造工艺用的沉积设备、刻蚀设备、离子注入、清洗设备、薄膜制备、检测量测等高端装备。(七
主要变化在于背电极的构型上，即形成叉指状的p+区和n+区，其也是影响电池性能的关键。在经典IBC的生产过程中，背电极的构型主要有丝网印刷、激光刻蚀、离子注入三种方法，由此也产生了三种不同的子路线，每种
工艺，因而增加了工艺难度以及生产成本。激光刻蚀具有复合低、掺杂类型可控等优点，但工艺过程复杂，工艺难度大。离子注入具有控制精度高、扩散均匀性好等特点，但其设备昂贵，且容易造成晶格损伤。参考爱旭股份的
、激光刻蚀、离子注入三种方法，由此也产生了三种不同的子路线，每种子路线所对应的工序多达14步、12步和9步。资料显示，工艺成熟的丝网印刷虽然表面看起来工艺简单，具有显著的成本优势。不过，由于其容易造成
电池表面缺陷，掺杂效果难以控制，需要经过多次丝网印刷和精确的对准工艺，因而增加了工艺难度以及生产成本。激光刻蚀具有复合低、掺杂类型可控等优点，但工艺过程复杂，工艺难度大。离子注入具有控制精度高、扩散均匀
/钙钛矿层/空穴传输层HTL 组成的“三明治”薄膜结构，工艺包括薄膜制备、激光刻蚀、封装三大步，关键在实现大面积高质量薄膜制备。溶液涂布法(刮刀涂布机，狭缝涂布机，丝网印刷机)、溶液喷涂法(气压或超声
光伏电池制造中的清洗制绒和刻蚀抛光工序，可改善工艺效果并提升光伏电池转换效率;光伏设备产品主要包括体缺陷钝化设备、链式退火设备，主要应用于体缺陷钝化和氧化退火工艺环节，目前已经成为PERC电池生产线的
的基础工艺包括清洗制绒，扩散，清洗刻蚀，镀膜，激光开槽，丝 印烧结等步骤。
(1) 清洗制绒
由于硅片在切割过程中表面会产生大量的油污，金属污染和机械损伤，因此 要对硅片进行酸洗(多晶)或者碱洗
达到 240min。因此 N 型电池所需成本更高，制备难度更大。
(3) 刻蚀
扩散过程中磷(硼)会与硅形成磷硅玻璃层 PSG(或硼硅玻璃层 BSG),为富含磷元素的二氧化硅层，对后续工艺产生
研究设备 半导体生产设备：全套生产线、光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散\离子注入设备、湿法设备、过程检测等设备 B.光伏电池： 光伏电池生产商、电池组件生产商、电池组件安装商、代理商、经销商及分销商
科技有限公司产品展示 单晶硅片再经过制绒、扩散、SE激光、刻蚀、退火、镀膜、丝网印刷等工序，被加工成为高质量的单晶电池片，它们再以串并联的方式焊接在一起，组成光伏组件，也就是我们通常说的太阳能电池
过程中积累了大量实验经验，获得发明专利《一种PERC双面电池和光伏组件》1项，实用新型专利《太阳能电池刻蚀装置和制备系统》《一种晶硅电池LeTID的测试方法及装置》等6项。 2020年下
一期工程开展环境影响评价。 一期工程计划用地450亩，新建生产厂房、仓库及配套附属等建设内容，购置制绒清洗、硼扩散、链式刻蚀+碱抛光清洗、POLY、磷扩散、原子层沉积钝化、正背镀、烧结丝网印刷、自动化
