刻蚀
5月24日，盛雄激光在SNEC光伏大会暨（上海）展览会上盛大召开了90W绿光皮秒BC电池大光斑刻蚀设备产品发布会，针对BC电池的制作难点和对激光设备的核心要求，旨在解决光斑小产能低，损伤限制提效
、光斑均匀性好、热影响及损伤低、扫描速度快、成本更低与升级迭代速度快，激光具备的优势使它成为大面积图形化制备速度最快、成本最低的工具。本次盛雄激光发布的90W绿光皮秒BC电池大光斑刻蚀设备，采用行业领先
与产业链上下游合作伙伴通过协同创新，成功孵化出多个引领行业的创新技术，其中包括与拉普拉斯在PERC电池技术量产以及下一代高效电池储备领域的突破、与帝尔激光携手将激光微刻蚀技术用于HPBC产业化、与深圳
生产效率。作为我国高端电子制造装备的“国家队”，近年来，中国电科依托在集成电路装备领域的深厚积淀，持续推进产品迭代升级和产业化应用。截至目前，先后推出首台国产铸锭炉、管式PECVD、扩散炉、等离子体刻蚀
干法刻蚀机。围绕HJT电池领域，自主研制了平板PECVD、平板PVD设备，以及应用于钙钛矿电池的原子层沉积设备、连续式磁控溅射设备，以高端装备持续为行业发展赋能。打造“中国方案”，迈向“零碳未来”与土耳其
生产效率。作为我国高端电子制造装备的“国家队”，近年来，中国电科依托在集成电路装备领域的深厚积淀，持续推进产品迭代升级和产业化应用。截至目前，先后推出首台国产铸锭炉、管式PECVD、扩散炉、等离子体刻蚀
干法刻蚀机。围绕HJT电池领域，自主研制了平板PECVD、平板PVD设备，以及应用于钙钛矿电池的原子层沉积设备、连续式磁控溅射设备，以高端装备持续为行业发展赋能。打造“中国方案”，迈向“零碳未来”与土耳其
产业链上下游合作伙伴通过协同创新，成功孵化出多个引领行业的创新技术，其中包括与拉普拉斯在PERC电池技术量产以及下一代高效电池储备领域的突破、与帝尔激光携手将激光微刻蚀技术用于HPBC产业化、与深圳石金在
协同创新，成功孵化出多个引领行业的创新技术，其中包括与拉普拉斯在PERC电池技术量产以及下一代高效电池储备领域的突破、与帝尔激光携手将激光微刻蚀技术用于HPBC产业化、与深圳石金在石墨舟和热场保温产品
研发、生产、销售和服务的高科技公司，产品能有效减少太阳光在硅片表面的反射损失、提高电池的陷光效应，有效地降低太阳能电池生产成本，同时针对市场需求，开发有碱抛光添加剂、酸刻蚀添加剂、Poly清洗添加剂
TOPCon电池是一种新型的高效太阳能电池，其制备工艺包括清洗制绒、正面硼扩散、刻蚀去硼硅玻璃(BSG)和背结、氧化层钝化接触制备、正面氧化铝/氮化硅沉积、背面氮化硅沉积、丝网印刷、烧结和测试。在这
扩散炉在多晶硅中掺入磷制成PN结，形成钝化接触结构后进行刻蚀。这种技术路线的优点是产量高，直接制备n型多晶硅层。但缺点是会产生绕镀现象，效率较低。LPCVD离子注入：这种技术路线利用LPCVD设备制备
预计为5.9%，其中增速最快的产品是EUV和KrF光刻胶。半导体光刻胶分产品市场规模(百万美金)：资料来源：TECHCET01、光刻工艺概览在大规模集成电路的制造过程中，光刻和刻蚀技术是精细线路图形加工
膜、刻蚀、离子注入、去除光刻胶等步骤。在光刻工艺中，掩膜版上的图形被投影在光刻胶上，激发光化学反应，再经过烘烤和显影后形成光刻胶图形，而光刻胶图形作为阻挡层，用于实现选择性的刻蚀或离子注入。集成电路
形成子电池串联结构的同时，对不同膜层在不同的位置进行刻蚀，对激光工艺、系统稳定性和精度要求极高。杰普特从自身激光光源核心优势出发，发展出较强激光工艺能力。自研发出全球首台柔性钙钛矿划线设备后，坚持不断
