光伏气膜

，主要是在真空或氢气环境下使 Se 在高温条件下蒸发，产生 Se 蒸汽，使其和预制膜反应。这一方式可避免使用剧毒的 H2Se 气体，因此操作更加安 全，设备也相对简单。 溅射后硒化方法，已经在大面积
前言 近年来，光伏工业呈现加速发展的趋势，发展的特点是：产量增加，转化效 率提高，成本降低，应用领域不断扩大。与十年前相比，太阳能电池价格大幅度降低。 可以预料，随着技术的进步和市场的拓展

镀减反射膜的钝化效果，对于电池片效率的提升有着重要的意义。目前在太阳能光伏领域常用的钝化方法有:氢气氛退火、微波诱导远距等离子氢钝化、等离子增强化学气相沉积即PECVD法三种。通常PECVD法的钝化

等离子体增强化学气相沉积法、氢化非晶硅、热氧化法、原子层沉积法以及叠层钝化，并分别介绍了它们在应用上的优缺点。分析了制备钝化膜过程中存在的问题，并提出了相应措施及发展趋势。表面钝化技术是提高晶体硅电池
如果将氮化硅作为前表面钝化膜，并将其折射率控制在2.0左右，既能起到很好的钝化作用又能起到较好的减反射效果。 3 表面钝化膜制备方法及动态 3.1等离子体增强化学气相沉积法 等离子体增强

2017年，我国光伏产业实现了硅料、硅片、电池片、组件等全产业链的产能领先，每一个制造环节都占到了全球市占率的50%以上，部分环节占到了70%甚至是80%以上。可以说，在制造环节，我国光伏
产业已经掌握了绝对的话语权。然而需要看到的是，虽然我国光伏产业已经成为少有的在国际上有绝对优势的产业之一，但是在新型电池的研发及创新方面仍有所欠缺。此外，在各项光伏生产设备以及辅材等方面，我国企业也仍需努力

生产成本，此前已有诸多研究，20世纪80年代，澳大利亚新南威尔士大学光伏实验室提出了PERC结构太阳电池，打破了当时晶体硅太阳电池转换效率的记录，也是目前唯一产业化的高效太阳电池技术。PERC电池在常规电池
玛雅设备来制备Al2O3/SixNy薄膜与背面保护氮化硅薄膜，高频信号发生器频率为13.56GHz。所用气体为三甲基铝(TMA)、高纯氩气、高纯氨气和高纯硅烷，实验时反应气体直接通入反应腔体内，反应

抛光。 钝化膜 硅片内部和硅片表面的杂质及缺陷会对光伏电池的性能造成负面影响，钝化工序就是通过降低表面载流子的复合来减小缺陷带来的影响，从而保证电池的效率。 晶硅太阳能电池的表面钝化一直是设计和
优化的重中之重。从早期的仅有背电场钝化，到正面氮化硅钝化，再到背面引入诸如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化局部开孔接触的PERC设计。PERC概念的核心就在于为常规光伏电池增加全覆盖的背面钝化膜

膜产生的效果。气相干洗极大缩减了HF的用量而且加快了清洗的效率。 2.2湿法清洗 2.2.1RCA清洗 Kern等人于1965年提出了RCA清洗法，清洗流程分为两步：SC-1、SC-2。后由
硅片清洗作为制作光伏电池和集成电路的基础，非常重要，清洗的效果直接影响到光伏电池和集成电路最终的性能、效率和稳定性。硅片是从硅棒上切割下来的，硅片表面的多层晶格处于被破坏的状态，布满了不饱和的悬挂键

了杂质引入的原因以及解决途径，从而显著减小了黑斑片产生的几率。 0 引言 晶硅电池组件广泛应用于光伏发电行业并形成相当大的产业规模，提高电池转换效率、减少电池的不合格率、优化生产工艺技术是降低
实验 采用NaOH溶液对p型(111)单晶硅片进行去除损伤层和制绒处理，硅片的厚度为19010m，电阻率为20.5cm。分别对硅片进行单面POCl3磷扩散，等离子增强化学气相沉积(PECVD)法

人类社会的不断进步，由工业生产所导致的能源和环境问题日益凸显，化石燃料(石油、煤炭、天然气等)的有限储量及其燃烧带来的全球变暖等问题促使人们不断地寻找和开发绿色可再生的新型能源。太阳能具有清洁、无污染
太阳能电池以其制备简单、成本低和效率高的优势迅速崛起成为新型光伏技术领域的新宠，其光电转换效率在短短八年内实现了跳跃式增长，目前报道的最高效率已达到商业化单晶硅太阳能电池的效率水平，表现出极大的优势和

)。 随着人类社会的不断进步，由工业生产所导致的能源和环境问题日益凸显，化石燃料(石油、煤炭、天然气等)的有限储量及其燃烧带来的全球变暖等问题促使人们不断地寻找和开发绿色可再生的新型能源。太阳能具有清洁
，钙钛矿太阳能电池以其制备简单、成本低和效率高的优势迅速崛起成为新型光伏技术领域的新宠，其光电转换效率在短短八年内实现了跳跃式增长，目前报道的最高效率已达到商业化单晶硅太阳能电池的效率水平，表现出极大