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光伏原子镀膜
条焊接拥有20多项专利技术支撑夸父系列-管式原子层沉积镀膜系统高质量超薄ALDAI203钝化膜全自动、高产能、高稳定性超低反应源耗量提升PERC电池光电转换效率近1%最低的设备运营成本和综合成本后羿
系列-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间CVD和ALD技术完美结合高质量单面镀Al2O3钝化膜高产能、低生产成本与黑硅技术相结合，为进一步增强PERC转换效率提供了最佳解决方案WR系列-板式
Taiwan 2017)期间宣布推出全新一代DK92正银技术平台，率先兼容包括双面氧化铝钝化在内的各类PERC背钝化镀膜技术与工艺，包括原子层沉积ALD(包括空间区隔式ALD、基于加工时间式 ALD即
技术的发展趋势。PERC技术因优异的效率优势和合理的成本必将成为太阳能光伏行业新的工艺基准。为加速光伏行业向PERC技术切换并持续降低PERC电池的量产成本，光伏设备供应商推出了各种类型的背钝化镀膜工艺
索比光伏网讯:2017年10月17日-19日，2017中国光伏大会暨展览会(PVCEC2017)在北京隆重召开。在18日上午的创新剧场【新型电池&组件技术】论坛上中国科学院电工研究所研究室
、双面发电等方面受到HIT电池的挤压，在下风中很难生存。如果PERC电池将来失败的话，一定会出在光衰问题上。以下为演讲实录：王文静：谢谢各位，今天在这个场合，我来介绍一下光伏产业面临技术升级，我们
索比光伏网讯:隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ALD）技术
关注，已有多家国内知名的光伏企业在使用微导的原子层沉积设备尝试双面钝化的工艺路线，并在很短的时间内就在PERC电池上达到了668mV的平均开路电压和高于21.5%的平均光电转换效率。目前，PERC电池
，已有多家国内知名的光伏企业在使用微导的原子层沉积设备尝试双面钝化的工艺路线，并在很短的时间内就在PERC电池上达到了668mV的平均开路电压和高于21.5%的平均光电转换效率。目前，PERC电池双面
自动化上下料系统可以在单面镀膜和双面镀膜两种模式间自由转换，真正满足不同客户的需求。
据悉，江苏微导目前已着手开发下一代产品，力求达到单位面积产能第一的目标。同时，在原子层沉积技术上将携手新南
索比光伏网讯: 隶属于无锡先导集团的江苏微导纳米装备科技有限公司，致力于为国内外的高科技行业提供最新最可靠的生产设备和解决方案。其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积(ALD)技术
强烈关注，已有多家国内知名的光伏企业在使用微导的原子层沉积设备尝试双面钝化的工艺路线，并在很短的时间内就在PERC电池上达到了668mV的平均开路电压和高于21.5%的平均光电转换效率。目前，PERC
、2之间无隔离缓冲腔体，可一次完成正面朝上或正面朝下PERC电池3层镀膜。新设备减少了硅片上下片次数，提高生产效率。理想能源开发出原子层沉积（ALD）法的AlOx膜沉积设备，采用托盘方式传输电池硅片
面氮化硅膜与背面氮化硅与AlOx膜集成在一起的3in1设备，AlOx工艺腔4对微波源，2对朝上镀膜，2对朝下镀膜，SiN工艺腔1，6对微波源，朝下镀膜；SiN工艺腔2，6对微波源，朝上镀SIN工艺腔1
SIN工艺腔1、2之间无隔离缓冲腔体，可一次完成正面朝上或正面朝下PERC电池3层镀膜。新设备减少了硅片上下片次数，提高生产效率。理想能源开发出原子层沉积（ALD）法的AlOx膜沉积设备，采用托盘方式
索比光伏网讯:PERC电池发展历程PERC电池（Passivated Emitterand Rear Cell）最早起源于上世纪八十年代，1989年由澳洲新南威尔士大学的MartinGreen研究组
一、背景技术
近年来，太阳能电池片生产技术不断进步，生产成本不断降低，转换效率不断提高，使得光伏发电的应用日益普及并迅猛发展，逐渐成为电力供应的重要来源。太阳能电池片可以在阳光的照射下，把光能转换
为电能，实现光伏发电。
太阳能电池片的生产工艺比较复杂，简单说来，目前的太阳能电池片的生产过程可以分为以下几个主要步骤：
S11、超声清洗，利用超声波清洗硅片表面;
S12、制绒面，通过化学反应
索比光伏网讯:摘要：以金刚线切割的多晶硅片为基础，正面是低反射率的亚微米级绒面，结合SiOx/SiNx薄膜保证正面的钝化效果。背面采用AlOx/SiNx叠层钝化，形成PERC电池结构，大大改善背表面
，从而提升电池效率。Al2O3薄膜具有极低的界面缺陷和较高的固定负电荷密度，能够提供良好的表面钝化效果；镀膜或进行激光开槽，使光生电流通过该窗口被背面铝层收集。 背面叠层结构材料折射率为硅3.9
