其次是纯度控制,虽说国产坩埚也都采用了进口的原料,但在坩埚生产过程中各种因素的杂质沾污,导致最终坩埚成
直拉法生产硅单晶,必须使用石英坩埚。石英坩埚按生产的硅单晶的级别分类有电子级和太阳能级,而电子级又根据产品的类别对石英坩埚有不同的要求。多年来通过石英坩埚及硅材料厂家的相互配合与支持,石英坩埚的工艺技术、产品质量都得到了长足的进步:部分替代进口,而且批量出口,国产坩埚在国际市场争得了一席之地。但是应该看到,国产石英坩埚与国外高品质的石英坩埚在工艺技术和产品性能方面还有一定的距离。
西门子法主要包括三氯氢硅合成工艺,三氯氢硅精馏工艺,化学气相沉淀(还原)工艺和尾气回收再利用工艺。首先
单晶制备方法 Crystal growth method Crystal growth method: CZ 导电类型 Crystal growth method
单晶硅棒品质规格: 单晶硅棒的主要技术参数 型号 P型或A型 晶向 <111><100> 电阻率 0.0001
1 范围 (商品编号:28046110、38180011) 本标准规定了以多晶硅(商品编号2