主流工艺

2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明指出，ALD正逐步取代PECVD成为主流钝化技术，降低了PERC生产成本
。 详细内容《《《《 3.上海理想万里晖薄膜张津岩：打破垄断，实现PECVD中国造 上海理想万里晖薄膜设备有限公司工艺执行总监张津岩在2019CITPV上介绍道，理想万里晖研制的PECVD设备打破了该

PECVD设备第一的地位。 高端PECVD装备的核心优势一是在于抽屉式反应腔，可放入不同型号的设备工艺共享，研发工艺可直接导入量产设备大规模生产。不同的产业化设备，可以使用同样的反应腔。从研发中试线
的研发开始到产业化的过程，均可以用同样的设备，工艺条件和工艺程序可以共享，抽屉式的设备可以用不同的型号设备和工艺直接导入大规模生产当中去。另一个优势是双真空反应腔，反应腔体变小，上下极板同时加热，不易

PECVD设备第一的地位。 高端PECVD装备的核心优势一是在于抽屉式反应腔，可放入不同型号的设备工艺共享，研发工艺可直接导入量产设备大规模生产。不同的产业化设备，可以使用同样的反应腔。从研发中试线的研发
开始到产业化的过程，均可以用同样的设备，工艺条件和工艺程序可以共享，抽屉式的设备可以用不同的型号设备和工艺直接导入大规模生产当中去。另一个优势是双真空反应腔，反应腔体变小，上下极板同时加热，不易产生

。 在硅片电阻率及氧含量表现方面，铸锭单晶硅片电阻率分布更集中，有利于PERC电池工艺匹配，提升高效产出比。此外，铸锭单晶硅片氧含量约为直拉单晶含量50%以下，有效降低硼-氧复合体带来的光致衰减
。同时，铸锭单晶的含氧量比单晶低40% ，有效改善了组件光衰。 据李新昌介绍，铸锭单晶电池效率已十分接近单晶电池的效率，MBB+PERC+SE同工艺情况下，铸锭单晶较直拉单晶22.2%效率相差0.20

电池量产发挥出重大作用。在目前主流量产技术的PERC电池上，微导推出的全新单面钝化镀膜技术结合臭氧新工艺方案，可以将量产效率提高0.1%，背膜产能提升20%，单机产能提升近一倍，超过10000片/小时
， 尤其是采用微导专利的ALD镀膜技术，PERC电池在抗LeTID的性能上具有显著的提升作用。有意思的是，这个结果是和现有PERC电池采用PECVD背钝化工艺相比较下得到的。他们通过对下面的实验结果进行对比

9月5日，由中国光伏行业协会主办，索比光伏网、智新研究院承办的2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明
指出，ALD正逐步取代PECVD成为主流钝化技术，降低了PERC生产成本。 效率衰减一直是单晶PERC电池产品亟待解决的问题，面对高效PERC电池市场的渐激烈竞争，黎微明指出，原子层沉积技术以其优异的钝化

9月5日，由中国光伏行业协会主办，索比光伏网、智新研究院承办的2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，光伏行业技术专家汇聚一堂，对电池技术的发展进行了
能否实现还是要看量产技术成熟度和性价比。 江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明 ALD目前是高效电池产业的主流技术，可以延续到后PERC时代，在综合成本上ALD具有重要优势。据黎微明介绍

导入MCCE湿法黑硅，并与金刚线切割叠加，降本增效，使其成为现在的多晶技术主流工艺。 苏州腾晖光伏技术有限公司副总裁 倪志春 PERC仍是最近几年市场主流产品，传统PERC技术将面临巨大

9月5日，由中国光伏行业协会主办，索比光伏网、智新研究院承办的2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，光伏行业技术专家汇聚一堂，对电池技术的发展进行了
能否实现还是要看量产技术成熟度和性价比。 江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明 ALD目前是高效电池产业的主流技术，可以延续到后PERC时代，在综合成本上ALD具有重要优势。据黎微明介绍

平价、竞价项目信息发布，市场迫切需要一种高效率、高可靠、低成本的产品，协鑫的铸锭单晶G3就是在这样的背景下进入光伏企业视线的。 游达表示，协鑫的铸锭单晶G3产品由于采用定向铸锭工艺，无论是外观还是内在
的位错密度，都无限接近直拉单晶硅片，凭借多晶的低成本、单晶的高效率受到业界广泛关注。同时，铸锭单晶产品主要有高效率、低衰减、兼容性好等优势。从多家电池制造商大批量应用的最新结果来看，使用目前主流的