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沉积。电极制备顶部电极蒸镀：在空穴传输层上蒸镀一层金属电极，如金(Au)或银(Ag)。这一步通常在真空蒸镀设备中进行，以确保金属层的质量和均匀性。边缘刻蚀：去除电池边缘的多余材料，以定义电池的有效区域
阳离子，B是金属离子，X则是卤素离子。这种结构赋予了钙钛矿优异的光吸收能力和电荷传输特性。具体来说，钙钛矿太阳能电池由多个功能层叠加而成。最底层是导电基底，它负责收集并传输电流。紧接着是电子传输层，它的

，通过PVD(物理气相沉积，通常为磁控溅射技术)镀膜，然后冷却、刻蚀，完成镀膜。FTO在线镀膜技术比较成熟，设备价格较贵;ITO和 AZO 通常离线镀膜，磁控溅射技术十分成熟。叠层钙钛矿电池结构连续
层的优势需要被重视✓ 预计2022 年中国真空镀膜设备行业市场规模达到592 亿元钙钛矿：光伏领域0-1 的颠覆性技术优点1：带隙可调带来更高的理论转化效率优点2：原料易获取、工序简单带来成本降低溶液

高，输出功率增大到一定程度后，激光辐照的掺杂区域的温度会瞬间升高并会超过阈值，导致掺杂区域的离化等离子体挥发，从而产生刻蚀凹槽现象，发射极因表面浓度降低而出现方阻值增大的情况。2.2 激光掺杂 SE 工艺对
) 溶液相结合的刻蚀液，并增加了硅片的插片间距，适度降低了制绒过程中的鼓泡速率，以便得到反射率一致的均匀结构的绒面。2) 低压扩散：太阳电池发射极常规的方阻平均值为 70～80 Ω/□，为有效提高此类

、激光刻蚀、离子注入三种方法，由此也产生了三种不同的子路线，每种子路线所对应的工序多达14步、12步和9步。资料显示，工艺成熟的丝网印刷虽然表面看起来工艺简单，具有显著的成本优势。不过，由于其容易造成
电池表面缺陷，掺杂效果难以控制，需要经过多次丝网印刷和精确的对准工艺，因而增加了工艺难度以及生产成本。激光刻蚀具有复合低、掺杂类型可控等优点，但工艺过程复杂，工艺难度大。离子注入具有控制精度高、扩散均匀