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工艺流程新增了两个重要工序。因此，钝化膜沉积设备和开槽设备(可采用激光或化学刻蚀方法)是需要在传统电池产线上额外增加的加工设备。我国光伏电池制造设备企业已具备了成套工艺流程设备的供应
能力，部分产品如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机等已在国内生产线中占据主导地位，但整体技术水平同国际一流厂商相比仍有差距，成套生产线自动化程度低。管式PECVD设备与进口设备并存份额逐步扩大，但全自动

，在世界排名第45，在新南威尔士排名第2。新南威尔士大学在四十多年的光伏技术领域一直处于全球领先地位。关于江苏微导江苏微导纳米装备科技有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备的开发、设计、生产和服务。微导的业务涵盖新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等工业领域。

片子的情况，结合对应的减薄量，实时调整镀膜时间; (3).检查操作记录，确认舟已使用多少次，如果使用次数过多就要求员工将石墨舟作刻蚀处理 (4).对该石墨舟尽早做刻蚀处理 3.淡蓝原因：(1
印; 解决：目前主要认为是清洗的上下料和刻蚀的上下料，上面的两张图片就是清洗下料手摸导致的，解决方法员工技能和员工意识; 特殊气体的特性介绍氨气 (NH3) 1、特性: 无色有刺激性恶臭的气体

，以常规温度曲线烧结的PERC电池的铝硅合金层(BSF)只有约1m。常规单晶电池的铝硅合金层厚度通常约为10m。PERC电池专用铝浆为了保护背面Al2O3钝化层而使用了弱刻蚀的玻璃体，这应是导致差异的
效率提升中起到了关键作用。由于PERC电池专用铝浆使用了弱刻蚀性的玻璃体，所以相对与常规电池的烧结曲线，铝浆烧结区需要升高温度才能获得良好的铝硅合金层(BSF)。过高的峰值温度会导致铝浆烧穿

扩散炉;三是边缘刻蚀和去磷硅玻璃，此环节需要仪器SCHMID刻蚀机、SCHMID自动动化仪器;四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜，此环节需仪器MeyerBurger的一体机式镀膜机、罗博特科
工序:吸片、舟卡槽及硅片间摩擦;刻蚀工序:滚轮划伤、清洗残留、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、烘干污染、粉尘污染、油污等;背钝化工序:吸盘接触、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、粉尘污染等