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领域优势突出。此项应用设备已通过客户验证并稳定量产。在加工200m厚的玻璃时，可实现打孔数高达1000个/秒，孔径50m，每个微孔的真圆度控制在1m以内。同时验证了可通过改变光束整形技术与刻蚀工艺组合
灵活性保证了产品设计者依据自身需求进行独特设计，提高TGV量产的效率、质量与可靠性。 Application 01全自动精密激光钻孔设备大族显视与半导体的LIERP技术在高精度微孔的高效率加工

沉积，因此还需要在 PERC 产线上增加 LPCVD 和湿法刻蚀设备。 2) HJT 电池由于采用晶硅/非晶硅异质结结构(PN 结由不同材料构成)，最高工艺温度不能超过非晶硅薄膜形成温度(200
次之，HJT 电池工艺最简单、步骤最少(核心工艺仅 4 步)。从生产设备来看，TOPCon电池兼容性最高，可从 PERC/PERT 产线升级，IBC次之，HJT电池完全不兼容现有设备，需要新建产线

作为技术支持机构，为评选体系及模型提供专业的参考和见证，最终评选出最具典范和标杆力量的企业代表。获奖企业介绍：江苏微导纳米装备科技有限公司是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积和刻蚀装备
反应离子刻蚀(RIE)装备, 并为新能源、柔性电子、半导体和纳米技术等多个工业领域的产业化生产提供整体解决方案。微导依托具有多年自动化设备及自动化生产线产业化经验的集团平台, 拥有领先的智能自动化技术储备

从事基础电子产品的研发、生产、销售和技术服务，主要产品为电子工艺装备和电子元器件。在光伏领域，他们主要提供等离子刻蚀设备、气相沉积设备、氧化扩散设备、清洗设备、移载传送设备、气象测量控制设备、辅助设备等

供应商，主要产品是管式PECVD，罐式高温扩散炉，单多晶制绒设备。北方华创：泛半导体领域的刻蚀机，PVD,CVD扩散炉等，广泛应用于光伏，半导体
之前先跟大家科普一下光伏的历史! 从2004年开始说起，德国搞高电价政策鼓励建设光伏电站，欧洲其他国家，意大利，西班牙也相继出台光伏鼓励政策，海外光伏设备需求强劲，于是诞生了中国第一批明星

设计较为灵活，既可配置平板式或旋转式、单个或双磁控管，又可以配置电子束枪或各种蒸发源，同时可在真空状态下或在进入真空状态前进行清洗或刻蚀等特殊预处理。此外，设备自动化配套设施完善，硅片自动上下
本篇报告认为设备是解决 HJT 效率提升和成本下降两大产业化难题的关键点之一，结合 HJT 电池的制造特点，通过梳理主流厂商 PECVD 和 PVD 设备的工艺技术路线、设计理念和发展现状，探究了

实现全面平价。走进位于陕西西安市的隆基乐叶太阳能电池工厂，高标准的洁净车间内，一片片边长166毫米、厚度仅170微米的银色单晶硅片，通过制绒、扩散、刻蚀、镀膜等工序后，成为墨蓝色的太阳能电池
片。这个车间基本采用自动化设备，员工只需负责简单上下料，效率大幅提升，比如丝网印刷环节，过去一条线年产能只有2.5万片，现在能达到15万片甚至更多。隆基股份总裁李振国介绍，项目的电池量产平均转换效率超过

边长166毫米、厚度仅170微米的银色单晶硅片，通过制绒、扩散、刻蚀、镀膜等工序后，成为墨蓝色的太阳能电池片。这个车间基本采用自动化设备，员工只需负责简单上下料，效率大幅提升，比如丝网印刷环节
，光伏发电上网电价有望降至0.2至0.38元/千瓦时。与此同时，近年来我国清洁能源设备的产业化步伐也在加快。以光伏为例，2019年，我国多晶硅、硅片、电池片和组件的产能在全球占比分别提升至69

、刻蚀、镀膜等工序后，成为墨蓝色的太阳能电池片。这个车间基本采用自动化设备，员工只需负责简单上下料，效率大幅提升，比如丝网印刷环节，过去一条线年产能只有2.5万片，现在能达到15万片甚至更多
国家补贴)，部分地区将实现低价。2025年，陆上风电上网电价有望降至0.23至0.4元/千瓦时，光伏发电上网电价有望降至0.2至0.38元/千瓦时。与此同时，近年来我国清洁能源设备的产业化步伐也在