CSEAC 现场实拍:宇电如何用自研温控技术 "守护" 半导体全工序

来源:宇电发布时间:2026-09-02 10:02:49

8月31日,第十四届半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026)在无锡太湖国际博览中心举办。作为国内半导体产业链协同的重要平台,本届展会汇聚了众多前沿技术与产业智慧。

在本次参展的众多半导体设备企业中,已有超过200家企业选用了宇电温控产品。 宇电作为国内首个批量应用于半导体领域的国产温控器品牌,携全套温控解决方案精彩亮相此次展会,为半导体设备的国产化升级提供可靠支撑。

半导体制造

对温控提出了哪些挑战?

随着芯片制造工艺向更高精度、更高效率迈进,温度控制正成为半导体制造中的关键一环。在刻蚀、镀膜、扩散、烧结等关键工序中,温度的每一次微小波动,都可能影响材料特性、工艺稳定性与产品良率。

精度要更高:面对高温及精密工艺环境,温控不仅要“测得准”,更要长期稳定地“控得准”。

响应要更快:工艺节奏不断加快,温控系统需快速响应温度变化,减少波动、缩短调节时间。

控制要更稳:面对大滞后、多扰动、复杂工艺曲线,传统PID控制往往面临调试难、超调、欠调等问题。

系统要更灵活:设备集成度持续提升,多回路控制、通信连接、输入输出扩展等需求日益突出,对温控器的系统适配能力提出更高要求。

软硬件一体化

宇电自研半导体全套温控系统

针对上述行业痛点,宇电在本次展会全面展示了专为半导体设备打造的全链路整体温控解决方案。

1、全链自研集成化温控系统

宇电构建了成熟的软硬一体全链路温控系统。从核心算法到控制中枢均为自主研发,基于定制化控制柜,系统深度集成温控、采集、输出及通讯模块于一体,实现温控与逻辑控制的统一编程管理。通过将匹配与调试工作前置,宇电为客户交付一套即插即用、协同工作的温控系统,在复杂工业环境下具备出色的抗干扰能力与长期稳定性。

2、宇电自研APID算法,破解传统PID瓶颈

在硬件之外,宇电的核心竞争力更体现在算法层面。针对半导体制造工艺复杂、工况多变的特点,宇电自主研发了半导体专用APID算法。该算法突破了传统PID控制的瓶颈,能实时识别工况变化并动态调整控制策略,实现无超调、无欠调的精确控制。目前,该算法已广泛应用于半导体、新能源等高端领域,为精密温控提供可靠保障。

3、核心单品协同,覆盖半导体全场景

针对半导体制造不同工序的差异化需求,宇电带来核心单品,协同构成完整温控闭环:

此外,宇电还展出了AI-85XX系列经济型多回路温控器、AI-86X8系列通用型温控器、AIP系列大屏智能温控器等产品,构建了覆盖工业温控全场景的产品生态。

展会期间,宇电展位吸引了众多专业观众驻足交流。来自各大半导体设备厂商的技术专家与工程师们,就刻蚀、镀膜、扩散等工序中的温控难题,与宇电技术人员展开深入探讨。宇电团队现场给出了详尽的技术解答与方案建议,专业的互动赢得了现场观众的高度认可。

从打破技术垄断到实现批量替代,宇电始终走在国产温控技术突围的最前沿。此次展会,不仅是宇电硬核产品实力的一次集中展示,也是宇电深耕半导体赛道、赋能产业升级的生动缩影。

展望未来,宇电将继续秉持技术创新初心,持续深耕半导体级温控技术,以更精准、更稳定、更智能的温控解决方案,为半导体设备的国产化升级保驾护航,与产业链上下游伙伴共同迎接半导体产业更加辉煌的未来。


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