当前位置:首页 > 光伏资讯 > 产业 » 光伏组件生产设备 » 单晶炉 > 正文

硅片国产化带来超200亿设备需求 单晶炉独占55亿

来源:华强电子网发布时间:2018-05-04 16:09:27

硅晶片设备生产

(一)硅片生产设备梳理:单晶炉等核心设备已实现国产化

半导体硅片的生产流程包括拉晶—>滚磨—>线切割—>倒角—>研磨—>腐蚀—>热处理—>边缘抛光—>正面抛光—>清洗—>检测—>外延等步骤。其中拉晶、研磨和抛光是保证半导体硅片质量的关键。涉及到单晶炉、滚磨机、切片机、倒角机、研磨设备、CMP抛光设备、清洗设备、检测设备等多种生产设备。


图表1 半导体硅片生产工艺流程


图表2 半导体硅片主要生产设备及厂商

1、拉晶:直拉法是主流,国内已实现单晶炉国产化

将多晶硅拉制成单晶硅棒主要有两种技术工艺,直拉法(CZ法)和区熔法(FZ),区熔法得到的硅片纯度更高,但成本更高,硅片尺寸偏小(只能生产150mm以下),主要用于功率器件硅片的生产。目前90%以上的半导体硅片通过直拉法生产。

拉晶步骤是半导体硅片生产过程中的关键步骤,很大程度上决定了硅片的质量。拉晶过程中用到的设备是单晶炉,单晶炉由炉体、热场、磁场、控制装置等部件组成,其中控制炉内温度的热场和控制晶体生长形状的磁场是决定单晶炉生产能力的关键。

国内公司中,晶盛机电、理工晶科、南京晶能是领先的半导体硅生长设备单晶炉提供商。其中晶盛机电承担的02专项“300mm硅单晶直拉生长设备的开发”、“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”两大项目,均已通过专家组验收。晶盛的8寸直拉单晶炉和区熔单晶炉均已实现了产业化,为有研半导体、环欧半导体、金瑞泓等国内知名半导体硅片生产商累计供应了几十台设备。晶盛的12寸直拉单晶炉也已经可以满足工业化量产的要求,预计将为国内大硅片项目供货。南京晶能则率先实现了12寸直拉单晶炉的国产化,为新昇半导体的国产大硅片项目累计供了三台设备,连续数月稳定运行,其技术先进性、使用节能性等指标甚至超越了国外设备,后续的订单也在洽谈中。

2、磨、切、倒角设备:已部分实现国产化

晶棒加工完成后,需要将晶棒切割成预定厚度的硅片。8寸晶棒的切割一般采用内圆切割机,通过内圆刀片上的金刚石涂层进行切割。由于切割刀片的直径太大会使得刀片容易发生变形,因此12寸硅片一般使用多线切割技术,采用金刚线与砂浆进行切割,多线切割不仅可以实现大直径硅片的切割,而且切割损耗低于内圆切割技术。硅片切割完成后,需要对硅片进行倒角处理,通过倒角机对硅片的边缘进行研磨,得到光滑的硅片边沿。

硅片的切片机和倒角机对于切割研磨的精度控制和稳定性有很高的要求,目前只有中电科45所能提供部分切片机产品,主要还是依赖于进口产品。

3、研磨抛光设备:硅片质量的重要保障设备,已开启国产化进程

硅片的表面完整度和平整度直接影响后续生产的良率和质量,因此需要通过研磨、腐蚀、抛光等工序对硅片表面进行深度加工。

特别声明:
凡本网注明来源: "索比光伏网或索比咨询"的所有作品,均为本网站www.solarbe.com合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。

经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明来源: "索比光伏网或索比咨询"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。
推荐新闻
氧含量降低40%-60%,松瓷新一代智能单晶炉加速新一轮n型技术迭代

氧含量降低40%-60%,松瓷新一代智能单晶炉加速新一轮n型技术迭代

随着双碳目标的推进和光伏技术的持续进步,大尺寸+n型成为光伏降本增效的主流需求。索比咨询预计,2023年n型产品市场占有率将达到30%以上,并将在未来几年处于快速增长阶段。

松瓷机电奥特维单晶炉
2023-10-26
青海天合2.6亿采购奥特维单晶炉设备

青海天合2.6亿采购奥特维单晶炉设备

近日,奥特维发布公告称,公司控股子公司无锡松瓷机电有限公司(以下简称“松瓷机电”)近日与天合光能(青海)晶硅有限公司签订《采购合同》,松瓷机电向天合光能(青海)晶硅有限公司销售SC-1600单晶炉,合同金额约2.6亿元(含税)。

奥特维天合光能单晶炉
2022-08-24
光伏设备交付量或达71亿光伏,上游龙头业绩出炉

光伏设备交付量或达71亿光伏,上游龙头业绩出炉

业绩同比增25%-50%超预期,21年趋势加速,光伏设备交付量或达71亿光伏上游龙头业绩出炉光伏上游龙头晶盛机电业绩预告出炉,21年趋势将加速。1)2020年业绩预告:同比增长25%-50%,预计2021年业绩有望提速①受益于单晶

光伏单晶炉光伏设备SiC长晶炉
2021-01-27
世界首个旋式铸造单晶炉研制成功,将大幅降低光伏发电成本

世界首个旋式铸造单晶炉研制成功,将大幅降低光伏发电成本

世界首个旋式铸造单晶炉在赛维研制成功。该旋式铸造单晶炉由陈仙辉院士团队和赛维技术团队合作研制,由多晶硅铸锭炉改造而成,单炉硅锭重量可达1200kg。经测算,相比传统直拉单晶工艺,旋式铸造单晶炉制造的单晶成本

赛维旋式铸造单晶炉甘胜泉
2020-12-22
该光伏设备公司宣布倒闭!

该光伏设备公司宣布倒闭!

近日,四川泰川新能源有限公司在国家企业信用信息公示系统正式发布了解散公示,宣布因决议解散拟向公司登记机关申请注销登记。根据公示要求,债权人需在公告发布之日起45日内向清算组申报债权,以确保自身权益得到妥善处理。

泰川新能源光伏设备
2024-12-03
涉及光伏装备!生态环境部向31家单位征求意见

涉及光伏装备!生态环境部向31家单位征求意见

10月31日,生态环境部发布关于公开征求《废光伏设备回收处理污染控制技术规范(征求意见稿)》国家生态环境标准意见的通知。文件指出,本标准规定了废光伏设备拆卸、收集、运输、贮存、拆解综合利用和处置过程中污染控制技术要求。光伏设备在生产、安装、维修等过程中产生的废弃零部件、边角余料等固体废物回收处理可参照本标准执行。文件明确,处理企业应具备集中的运营场地,并实行封闭式规范管理。处理场地面积应不低于 20000 平方米,利用能力不宜低于10000吨/年。

光伏设备回收光伏设备
2024-11-02
先进产能设备提供商N拉普上市首日开盘暴涨468.83%

先进产能设备提供商N拉普上市首日开盘暴涨468.83%

N拉普2024年10月29日正式上市,首日开盘价100元,较发行价上涨468.83%。公司专注于高效光伏电池片设备及解决方案,本次IPO发行4053.26万股,募资7.13亿元用于研发制造基地及流动资金补充,市场前景广阔。

光伏设备N拉普拉普拉斯
2024-10-29
大族激光前三季度净利润大增124.21%,第三季度略降

大族激光前三季度净利润大增124.21%,第三季度略降

大族激光2024年前三季度实现营收101.29亿元,同比增长7.90%,净利润大增124.21%至14.26亿元。第三季度营收37.74亿元,同比增长14.34%,但净利润略降2.32%。公司坚持创新,拓展市场,未来将继续推动产业升级和技术创新。

大族激光2024Q3业绩光伏设备光伏装备
2024-10-28
各环节集体减产!硅料供需失衡局面有望扭转

各环节集体减产!硅料供需失衡局面有望扭转

11月13日,中国有色金属工业协会硅业分会发布了太阳能级多晶硅最新成交价格。过去一周:N型料成交价3.70-4.40万元/吨,平均为4.17万元/吨,周环比持平。N型颗粒硅成交价3.60-3.75万元/吨,平均为3.73万元/吨,周环比

硅片硅料多晶硅
2024-11-14
【索比光伏价格指数】硅片价格下跌,组件价格止跌回稳

【索比光伏价格指数】硅片价格下跌,组件价格止跌回稳

本周组件价格不变。地面电站P型单晶182双面0.69元/W,P型单晶210双面0.69元/W,TOPCon182双面0.69元/W,TOPCon210双面0.69元/W,TOPCon182矩形0.69元/W。

组件价格硅料价格硅片价格
2024-10-24
美国拜登政府“放大招”:25%芯片税收抵免范围扩大至晶圆及太阳能硅片

美国拜登政府“放大招”:25%芯片税收抵免范围扩大至晶圆及太阳能硅片

拜登政府正式确定对半导体制造项目提供25%税收抵免的新规,扩大了《芯片与科学法案》的激励计划资格范围,涵盖晶圆、芯片及制造设备生产商,并意外将优惠扩展至太阳能晶圆,有望刺激美国国内组件生产。

拜登晶圆硅片
2024-10-23
【索比光伏价格指数】需求支撑不足,电池、组件价格双降

【索比光伏价格指数】需求支撑不足,电池、组件价格双降

本周组件价格下降。地面电站P型单晶182双面0.69元/W,P型单晶210双面0.69元/W,TOPCon182双面0.69元/W,TOPCon210双面0.69元/W,TOPCon182矩形0.69元/W。

组件价格硅料价格硅片价格
2024-10-17
返回索比光伏网首页 回到硅片国产化带来超200亿设备需求 单晶炉独占55亿上方
关闭
关闭