日本电子株式会社(JEOL)前身为日本通讯研究所,专业研发商业或工业用的精密机器,分电子光学、医用仪器及半导体机器三大部门,开发全球第一座电子光学显微镜,研发能力独步业界。
有鉴于半导体与太阳能产业正热,全世界都在抢高纯度的硅当原料,导致硅的价格居高不下。JEOL最新推出JEBG 直进形电子枪,其产生的电子束可用于硅熔炼,为太阳能的硅原料打开另一项源。JEBG电子枪用于硅熔炼的纯度达到六个N,符合太阳能业界的纯度需求。JEBG电子枪的特点是高能量、低污染,用强力磁场精准控制电子束的方向,维持直进路线,集中能量,以JEBG-3000UB电子枪为例,进行硅熔炼的最大能量为300kW。
同样的原理,也可将电子束用于镀膜工业,利用内部的真空设计,以电子束产生瞬间高温、真空镀膜的效果更好,且将镀膜产生的有毒气体封在内部,再用高温自行分解有毒气体,是低污染的镀膜工业,日本国内已广泛采用。JEBG电子枪可用于大型镀膜,达1㎡,几乎100%的日本电浆电视的厂商都采用于液晶屏幕的镀膜。
上述新产品将于2008台北光电周展览亮相,摊位号为精密光学展区的D340号。