据FabTech网站报道,Nanometrics日前宣布收购了一家以色列薄膜厚度集成测量(integrated metrology,IM)设备供应商,名为Tevet Process Control Technologies。交易全部以现金完成,相关细节尚未公布。
Tevet由风险投资成立,成立于1999年。2007年曾募集1300万美元进行开发Trajectory T3设备,此薄膜厚度集成测量设备已经用于PECVD工艺中。
Nanometrics集成测量事业部主管Steve Bradley表示,新的IM产品与现有产品大为不同,将显著补充我们的IM业务。此次收购意味着我们将开始向领先半导体OEM厂商以及太阳能制造产业进军。