PECVD

厂家，一部分存储，一部分则偷偷掩埋。这还不包括硅片后期处理的其它辅料。如制绒过程中用到的各种强酸强碱溶液、扩散使用的三氯氧磷、PECVD中使用的硅烷等，这些辅材的消耗不比主材料少。由于太阳电池具有

机，硅片自动分选机等关键光伏生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和PECVD等薄膜太阳能光伏电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。

线设备中的8种，其中有6种（扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉）已在国内生产线上占据主导地位，2种（管式PECVD、快速烧结炉）与进口设备并存但份额正逐步增大。此外，全自动
丝网印刷机、自动分拣机、平板式PECVD则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。硅材料加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机已

、低能耗、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、超薄硅片多线切割机，硅片自动分选机等关键生产设备。支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）、激光刻蚀机、干法刻蚀机
、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和PECVD等薄膜太阳能电池生产设备。促进光伏生产装备的低能耗、高效率、自动化和生产工艺一体化。

行为等因素，未必会比传统多晶电池有综合成本优势。多晶电池制造工艺相对单晶来说较难控制，尤其是PECVD过程的成膜及优越的钝化效果，是HIT技术的核心工艺段。结合硅片的制造成本及市场供需、电池效率差异、组件衰减及利用率等多方面综合考虑，近几年，多晶太阳能电池由于明显的综合成本优势仍然会占据大部分市场。

、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。 　　扩散炉和PECVD，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足

2012年度国家863计划先进能源领域重点支持。48所作为唯一跻身光伏装备制造业全球十强的中国企业，在光伏装备领域具有雄厚的综合实力，在光伏装备研发方面突破了高温烧结、PECVD压力控制系统、丝网印刷

索比光伏网讯:薄膜光伏" title="光伏新闻专题"光伏电池中最具发展潜力的是非晶硅薄膜光伏电池，非晶硅材料是由气相淀积形成的，目前已被普遍采用的方法是等离子增强型化学气相淀积(PECVD)法

来看，国产单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、线切方机、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。扩散炉和PECVD，目前大量应用的

、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，基本可以满足行业的需要，可替代进口设备，目前市场占有率也相对较高。扩散炉和PECVD，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求