PECVD

索比光伏网讯:世纪新能源网 www.ne21.com 现场报道（记者张松）2012年第七届亚洲太阳能光伏工业论坛上，中科院电工研究所太阳能电池技术研究室主任王文静博士与我们分享了《PECVD相关问题

在切片的成品率和直通率方面也有待改进。在电池片制备中，国产的PECVD还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的PECVD设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急。

具有自主知识产权的非晶/微晶薄膜太阳能生产线，使用理想能源的LPCVD和PECVD设备作为其关键工艺设备。同时，理想能源和正泰太阳能合作完成了工艺集成、工厂自动化、工厂布局等整线集成工作，成功促进生产
研究员彭德香表示，随着资金、技术的配备和设备搭建的顺利完成，争取明年上半年实现量产。宏威科技：单条PECVD生产线产能达225MW有关薄膜电池和晶硅电池在业内的争论一直没有停止过，但无论是晶硅电池还是

设计、制造和提供品种不断增多质量最佳的流体系统产品和解决方案，从简单到复杂的客户定制服务组件只是世伟洛克以客户前所未想的另一种方式来解决客户的需求。在公司的展台上摆放着为客户定制的PECVD设备工艺特

索比光伏网讯:2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统。SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备，用于在基片上沉积 SiOx
, SiOxNy或 SiNy薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。这是带LOADLOCK的SI500D等离子沉积系统在中国的第一次安装。SENTECH ICP-PECVD设备的安装，由德国原厂

表面上复盖一层减反射膜。制作减反射膜的材料有MgF2，SiO2，Al2O3，SiO，Si3N4，TiO2，Ta2O5等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等。(9

生产设备，如清洗机、刻蚀机、PECVD等。目前国内相关产品的研发逐渐成熟，产业化也有望在近期逐渐完成，因此如果行业有所回暖，逐步实现进口替代的设备耗材类上市公司仍然是投资的重点。整体利好有限，维持谨慎

年，正泰制造出了国内首台PECVD设备，性能优于国际一流设备，售价却只有进口设备的一半。我们还自主研发光伏逆变器、并网系统解决方案等，大大降低了光伏组件及系统成本。如今，正泰在美国、欧盟、印度、泰国等

，在众多48所的设备产品中，不论是运用军工技术的高温扩散炉、PECVD，还是唯一国产化的丝网印刷机、自动检测分选系统，这些设备在技术与成本上都具有不错优势。

中，不论是运用军工技术的高温扩散炉、PECVD，还是唯一国产化的丝网印刷机、自动检测分选系统，这些设备在技术与成本上都具有不错优势。