PECVD

、PECVD薄膜硅沉积以及ITO溅射沉积。名为隔离室以及使用隔离室生产太阳能电池材料的方法的该专利于5月8日由USPTO颁发，从而使该公司得以进一步挖掘其专有技术。该工具是一种在36英寸宽、8000英尺长的5mm厚不锈钢底层上生产低成本柔性多结薄膜硅太阳能电池的单一机器。

索比光伏网讯:三洋双面HIT电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏" title="光伏新闻专题"光伏技术：HIT电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用PECVD制备本征
非晶硅薄膜和P型非晶硅薄膜3.背面用PECVD制备本征非晶硅薄膜和N型非晶硅薄膜4.在两面用溅射法沉积透明导电氧化物薄膜5.丝网印刷制备电极光伏技术：HIT电池的优点1.HIT电池具有较高的开路电压

进口，如高纯多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸（如450kg以上）铸锭炉、多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷机、全自动电池焊接机等。一些关键通用装备，特别是薄膜太阳能

。近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交

工作的核心位置，大力加强原始创新、集成创新和在引进先进技术基础上的消化、吸收、再创新，努力在若干重要产品领域掌握核心技术。近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉

了提升产品效率，以便使自身更具竞争力。在提升效率过程中，之于每个工艺的控制就显得格外重要。例如，对于晶体硅电池的核心工艺的PECVD，为了既获得良好的钝化又能有更低的反射，很多厂家都推出了双层氮化硅
结构;再如，如何严格监控清洗完成后自然氧化层的状态;又如，许多公司工艺部门都希望获得全波段的NK值以及精确的膜厚等等。另外，许多著名PECVD厂商也在为如何提升自身的竞争力殚精竭虑，例如，著名管式

索比光伏网讯:丝网印刷是太阳能电池制造的重要工艺，它质量的好坏会对太阳能电池的性能特别是电性能产生重要影响。在太阳能电池的一般生产工艺中，经过扩散制结，等离子刻蚀去周边和PECVD制减反膜，下一工艺
7.5丝网印刷设备的发展方向全自动丝网印刷机、自动分检机和平板式PECVD等3种设备在近期内需完全依赖进口，但相应国产设备推出的日子已为期不远。全自动多印刷头产品正在研发中，关键技术已取得突破，整

(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，简称PECVD)。PECVD作为太阳电池生产线上的关键设备之一，其市场需求相当大，所以PECVD技术在70年代以来已成为研究的热点，并将不断成长为一项成熟的技术。PECVD与一般

用于太阳能光伏系统、PECVD、真空镀镆、刻蚀等真空设备当中。公司于2000年进入半导体领域，已有11年丰富的行业经验。2002年，成为全球最大的半导体设备制造商AMAT（美国应用材料公司

S125-D165（对角线165mm）电池制作组件（板型：49=36片串联），在板式PECVD时，调节氮化硅膜后分布为70-75、80-85、90-95（nm），三组电池各制作5块组件，组件对其他辅材相同。组件的理论