PECVD

，首台代表国际尖端水平的中国造薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD）在正泰成功下线。自此，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面。相比于进口装备，正泰自己研发

相淀积（PECVD）进行的，由于离子轰击可能引起更多的表面缺陷。因此，结界面处较高的载流子复合几率会使短路电流密度(JSC)减少。为了避免这一点，在本研究工作中，采用了电子回旋共振化学汽相淀积
可能比用PECVD制备的更好，这是由于在ECR-CVD系统中掺杂层与硅衬底间的界面上离子轰击较少。我们优化了用ECR-CVD制备的高质量c-SiOx:H薄膜的掺杂浓度。这样，无本征非晶层时平面异质结

采访主题：了解大族光伏主打产品扩散炉和PECVD设备的特色、服务以及未来市场战略 采访时间：2012年5月17日 采访人：刘海明 被采访人：深圳市大族光伏科技股份有限公司总经理 王俊

索比光伏网讯:摘要：本文采用PECVD技术沉积本征非晶硅薄膜，研究少子寿命随本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度以及硅片清洗工艺的变化规律。结果表明：本征层厚度要适中。随着沉积气压、射频功率和氢
证明少子寿命越高，太阳电池的短路电流、开路电压也会越高。因此开展对本征非晶硅薄层钝化后硅片少子寿命的研究是制备高效HIT电池的前提和关键。2实验实验采用PECVD技术，在单晶制绒硅片上双面沉积本征非晶硅

多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸铸锭炉、多线切割机、PECVD镀膜设备、自动丝网印刷机、自动电焊机等都主要依赖进口。光伏电池生产所需要的主要原材料，如高纯多晶硅、银浆、EVA用高分子

加力透露，七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、PECVD、清洗机等工艺设备为主

光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、PECVD、清洗机等工艺设备为主。本轮光伏行业的调整

公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、PECVD、清洗机等工艺设备为主。本轮光伏行业的调整反而给公司提供

通过PECVD沉积双层SiNx薄膜,以起到减反射和表面钝化作用。电池背面利用局部激光烧蚀技术,烧蚀成高低不同、呈叉指状交叉排列的两片区域。这种台阶结构成为RISE电池最大的结构特点。背面经磷扩散后
。RISE2EWT电池的整个制作流程只采用了激光烧蚀、PECVD、磷扩散等无直接机械接触的加工技术,便于加工面积较大的薄晶片。目前,RISE2EWT电池的最高效率为20%(FZ2Si,93cm2),通过优化单步磷

议（6thInternationalSolarIndustryandPhotovoltaicExhibitionandConference）上，其新型离子注入机和PECVD产品受到广泛欢迎和关注。Amtech的首席执行官FokkoPentinga表示：我们非常高兴的宣布市场对于