PECVD

索比光伏网讯:多晶硅由于结构的各项同性而使采用碱腐蚀织构化效果不好，日本京瓷(Kyocera)公司采用PECVD/SiN+表面织构化采用反应性等离子刻蚀技术 (RIE)。而扩散则采用双面扩散的方法

排列整齐的方形沟槽组成，浅发射极n+位于硅片的上表面，在其上有一极薄的氧化隧道层，Al电极倾斜蒸镀于沟槽的侧面，然后利用PECVD蒸镀氮化硅作为钝化层和减反射膜OECO电池有以下特点：(1)电极是蒸
直接倾斜蒸镀Al作为面电极使用导电胶将各个面电极连接起来采用PECVD法在前表面蒸镀氮化硅作为钝化和减反射层。（作者：和海一样的新能源）

、铸锭炉、清洗机、扩散炉、刻蚀机、PECVD、高低温烧结炉等光伏装备，并一跃成为支撑我国太阳能光伏产业快速发展的太阳能电池制造装备龙头供应商，打造了世界光伏看中国，中国光伏装备在湖南的发展格局。 在
与美化环境完美结合起来。在探索先进工艺的过程中，48所对扩散炉温度控制系统、PECVD压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了改进

向我们定购一组用于扩散和抗反射涂层的关键设备。另一家历史悠久的著名台湾客户也订购了c.FIRE新一代的快速烧结炉。centrotherm photovoltaics是扩散和PECVD系统方面的全球市场

单晶硅，另外主要设备PECVD及PVD均需重新采购，庆幸的是，这两种重要设备目前均能在本土制造，与过去多晶硅的生产设备均由欧美制造完全

客户订购了一台扩散和减反射膜的关键设备。另外一家成立多年的台湾知名企业订购了新一代快速烧结炉c.FIRE。Centrotherm公司是全球扩散和PECVD系统的市场领导者，在快速烧结炉方面排在第二位

领先的技术和设备供应优势。例如，一个新的台湾客户订购了一款扩散和减反射膜的关键设备。还有一家著名的成立多年的台湾公司订购了c.FIRE--新一代快速烧结炉。Centrotherm公司是扩散和PECVD

生产厂家的四氯化硅少部分以低价卖给下游厂家，一部分存储，一部分则偷偷掩埋。 这还不包括硅片后期处理的其它辅料。如制绒过程中用到的各种强酸强碱溶液、扩散使用的三氯氧磷、PECVD中使用的硅烷等，这些辅材

，虽然每瓦的成本较多晶硅高，主要原因是制造HIT电池是使用单晶硅，另外主要设备PECVD及PVD均需重新采购，庆幸的是，这两种重要设备目前均能在本土制造，与过去多晶硅的生产设备均由欧美制造完全
代工厂商指定使用日本之生产设备，即如当年德国以政府补助之方法来购买太阳能电池，但要求台湾厂商使用德国生产之设备，并且要求以其检验之标准来验收，如此将无法藉此扶持台湾本土的PECVD及PVD设备产业

高效电池设计和制造方法，电池制作过程大致如下：利用PECVD在表面织构化后的N型 CZ-Si片的正面沉积很薄的本征-Si:H层和p型-Si:H层，然后在硅片的背面沉积薄的本征-Si:H层和n型-Si