PECVD

研发的项目（一种PECVD设备中央计算机集成控制系统、一种PECVD自动装卸舟装置、PECVD炉温控制系统、DS-300管式全自动高效磷掺杂设备），在771项参加评选的申报项目中脱颖而出，最终获得了重大创新成果奖。这一殊荣的获得，再次证明捷佳伟创公司在光伏设备制造业的技术领先地位。

化学气相沉积（PECVD）垂直镀膜设备VCS 1200，该设备能对晶体硅太阳能电池进行正面与背面的双面镀膜。在等离子体增强化学气相沉积过程中对电池进行钝化对于硅基太阳能电池至关重要。垂直镀膜设备VCS
时刻，电池生产厂商迫切需要降低每瓦成本。基于创新的PECVD设备，我们能够提供具有最低投资与运营成本的完美解决方案。Manz公司将于2012年9月24日至28日在德国法兰克福举行的欧洲光电太阳能会议暨

受到太阳能光伏行业低靡的影响，化工行业（涉及光伏上游如多晶硅等）和电力行业应用市场规模也有所下降。温控器在太阳能光伏领域整个产业链都有着广泛的应用，从上游多晶硅、单晶硅的生产，到前端扩散炉、PECVD

& Rau(现在为Meyer Burger的分公司)主导的c-Si PECVD工具市场在2011年达到了8.8亿美元。然而，光伏薄膜沉积设备在短期内是一个有吸引力的部门，一部分工具供应商可能参与到

矽太阳能设备供应商提供了最大的单一目标市场。目前晶矽PECVD工具市场由Centrotherm和Roth & Rau (现在属于Meyer Burger)主导，在2011年总销售额达到8.8亿美元

等离子增强化学气相沉积(PECVD)工艺。此外，液相外延法(LPPE)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。 化学气相沉积主要是以SiH2Cl2、SiHCl3、Sicl4或SiH4，为反应气体，在
在一起的。 非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法有很多，其中包括反应溅射法、PECVD法、LPCVD法等，反应原料气体为H2稀释的SiH4，衬底主要为玻璃及不锈钢片，制成的非晶硅薄膜经过不同的电池工艺过程

的太阳能电池。为了获得大尺寸晶粒的薄膜，人们一直没有停止过研究，并提出了很多方法。目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD
反应溅射法、PECVD法、LPCVD法等，反应原料气体为H2稀释的SiH4，衬底主要为玻璃及不锈钢片，制成的非晶硅薄膜经过不同的电池工艺过程可分别制得单结电池和叠层太阳能电池。目前非晶硅太阳能电池的研究

：晶硅电池PECVD设备供应商收入份额趋势 数据来源：NPD Solarbuzz光伏设备季度报告 设备商需要进行品牌替换，以消除来自于二次设备市场的威胁 领先的一线
目标。 随着新设备供应商有望进入光伏供应链，一些设备领域的竞争将会更加激烈。到目前为止，晶硅电池沉积设备的平均售价最高，为晶硅光伏设备供应商提供了最大的单一目标市场。目前晶硅PECVD工具市场由

光伏技术路线上。图：晶硅电池PECVD设备供应商收入份额趋势数据来源：NPD Solarbuzz光伏设备季度报告设备商需要进行品牌替换，以消除来自于二次设备市场的威胁
。到目前为止，晶硅电池沉积设备的平均售价最高，为晶硅光伏设备供应商提供了最大的单一目标市场。目前晶硅PECVD工具市场由Centrotherm和Roth & Rau（现在属于Meyer Burger）主导，在