PECVD

下降的主要因素之一。在整个光伏产业链上，中国在几种价值较高的关键设备还和国外存在很大差距。有的虽有国产化，但性能质量达不到要求。有的国内尚属空白。包括：还原炉、CVD、PECVD设备、烧结炉和全自动丝印机

防辐射涂料和磷扩散制造系统设备。在引入该太阳能电池生产线的关键技术设备后，中节能将在太阳能电池和组件扩产上迈出关键的一步。对于总部驻德国布劳博伊伦的国际领先扩散设备和PECVD设备供应商

工艺技术项目，涉及低成本太阳能电池中所用的一种新型纳米表面工艺技术，包括用于提高电池光捕获效率的新型纳米防反光涂层（ARC）。项目还将开发新型等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺，用于生产低成本
多结高效太阳能电池。纳米表面工艺和PECVD技术能共同用于单晶硅和多晶硅太阳能电池中，以提高电池效率。薄膜基纳米硅太阳能电池还能转移到塑料和钢材等廉价的柔性衬底中，光伏建筑一体化产业非常需要这种衬底

300MW的太阳能电池防辐射涂料和磷扩散制造系统设备。而引入这种太阳能电池生产线的关键技术设备后，中节能将在太阳能电池和组件扩产上迈出关键的一步。对于总部驻德国布劳博伊伦的国际领先扩散设备和PECVD设备

/c-Si:H串结太阳能电池用等离子增强化学气相淀积（PECVD）制造，采用的激励频率为13.56MHz。串结是在p-i-n/p-i-n顶衬结构制造的，其中第一个i层由a-Si:H组成，第二个i层由

AL2O3淀积系统的尺寸加大。淀积方法或是基于等离子淀积（PECVD），或是基于原子层淀积（ALD）。后者能控制到亚纳米，可能有较高的化学产额，因为在原理上淀积限于吸附表面。可是，在批次系统中，ALD的淀积

阶段性进展。1.自主创新取得丰硕成果。自主研发成功非晶微晶双结薄膜太阳能电池商用关键设备LPCVD和PECVD、压力容器、蒸发器、堆内构件、控制棒驱动机构、核电主泵、U型管、核电大锻件、核级泵阀

主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、PECVD、制绒清洗机、去PSG清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。尤其在光伏大规模生产线上得到大量使用，其技术水平、产能、成本控制及自动化程度都已经达到
领先水平，甚至赶超国际一线厂商的水准。该设备实现了MES与设备端的数据交互。 同时，七星电子研发的SSP8471A管式PECVD为单管产能全球最高设备，电池片转换效率高，属于世界先进水平。该设备具有

（PECVD）设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气（F2）的KAI反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高，耗气量更低。这些改进都极大地降低了生产成本，缩短了生产周期并提高了生产线的效能。对研发的

300MW生产线采购自瑞士欧瑞康。 2010年6月16日，铂阳公告称，与汉能控股签订了巨额销售合同，合同总金额为25.5亿美元。上述销售合同包含了420台PECVD设备及90台PVD设备，大概能支持