PECVD

个人就可以完成。 宋锋兵介绍，整个晶硅电池生产线分为制绒、扩散、刻蚀、PECVD、丝网印刷等5个环节，原先的4个环节都处于全球一流水准，只有刻蚀这个环节仍然需要3台机器同时运转。现在这套改造刻蚀

改造，技术改造完成后，将使生产线工序从3个环节变成1个环节，原先需要3台机器，6个人运作的流程，变成了只需要1台机器，3个人就可以完成。宋锋兵介绍，整个晶硅电池生产线分为制绒、扩散、刻蚀、PECVD、丝网印刷等

、机器人、丝网印刷，也包括了流程与工艺控制的单晶硅拉制炉/多晶硅铸锭炉、制绒、扩散、PECVD与烧结单元，如下图：

方法。目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺。此外，液相外延法（LPPE）和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。 化学气
电池的一半，光致衰退效应减小；④叠层太阳能电池各子电池是串联在一起的。 非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法有很多，其中包括反应溅射法、PECVD法、LPCVD法等，反应原料气体为H2稀释的SiH4，衬底

(RIE)工艺，电池平均转换效率比过去提升了0.5%，最高效率达到17.90%。 黄河光伏的背钝化工艺采用原子层沉积(ALD)或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺在硅片背面形成氧化铝膜层

青岛赛瑞达电子装备股份公司自主研制的太阳能电池专用等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）、太阳能电池专用闭管软着陆扩散炉通过新产品鉴定，达到国际先进水平，两种设备均可以替代进口，价格约为国外同类
设备的1/3，已占据国内主要市场，对提高我国太阳能电池片技术具有重大促进作用。 　　PECVD是光伏产业的关键设备，以往基本依赖进口，赛瑞达开发的PECVD设备解决了国产PECVD自动化程度低

索比光伏网讯:日前，我市企业自主研制的太阳能电池专用等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）、太阳能电池专用闭管软着陆扩散炉通过新产品鉴定，达到国际先进水平，两种设备均可以替代进口，价格约为国外同类
设备的1/3，已占据国内主要市场，对提高我国太阳能电池片技术具有重大促进作用。PECVD是光伏产业的关键设备，以往基本依赖进口，我市企业开发的PECVD设备解决了国产PECVD自动化程度低、温度控制

%，多晶高效电池的研发采用RIE工艺，电池平均转换效率比过去提升了0.5%，最高效率达到17.90%。氧化铝背钝化工艺是采用ALD（原子层沉积）或PECVD（等离子体增强化学气相沉积）工艺在硅片背面形成

了Roth & Rau公司 MAiA PECVD设备的背钝化技术和InnoLas公司ILS TT设备出色的激光刻槽技术。该合作的技术可以将普通单晶硅电池的效率提高超过1%，而产能则可以达到每小时3400片电池
。 　　Roth & Rau公司的 MAiA PECVD单台设备即可进行氧化铝背面钝化涂层和氮化硅涂层，这无疑将增加系统的工艺安全性，减少不必要的操作环节。InnoLas公司的ILS TT设备则可

空白。包括：还原炉、CVD、PECVD设备、烧结炉和全自动丝印机、线切割机、自动分选机、自动插片机、自动焊接机等、离子注入机。提高这些高价值的关键设备的国产化程度是进一步降低我国电池制造成本的有效途径