PECVD

不快。另外，结晶缺陷所带来的效率损失需要通过复杂工艺弥补，比如多晶硅是通过PECVD－SNx来实现，获得了很大成功。但其他薄膜电池，如非晶硅和其他薄膜电池至今尚未获得满意结果，这也是薄膜电池发展比人

生产，但由于效率低且有衰减，使用寿命较晶体硅电池短，市场份额增加不快。另外，结晶缺陷所带来的效率损失需要通过复杂工艺弥补，比如多晶硅是通过PECVD－SNx来实现，获得了很大成功。但其他薄膜电池，如非晶硅和

PECVD－SNx来实现，获得了很大成功。但其他薄膜电池，如非晶硅和其他薄膜电池至今尚未获得满意结果，这也是薄膜电池发展比人们预想得慢的主要原因。晶体硅太阳能电池是目前国际光伏市场的主流产品，占世界

将会被越来越多的系统终端使用者所重视，甚至成为进入国际市场的必备条件之一。通过和业内知名厂家的合作，经过数月的研究、试验和完善，2013年5月的上海SNEC展，大族光伏率先推出了基于PECVD设备的
PID-Free技术改造方案，得到众多业内专业人士及媒体的关注和认可，成为展会的新技术热点之一。展会后，大族光伏合作PID-Free技术设备改造的客户纷至沓来，经过批量客户的使用验证，在进口PECVD设备

简单集成到客户已有生产线，并提供市场上最低的制造成本。根据计算，Schmid集团应用于钝化膜和覆盖膜的APCVD技术，成本比ALD和PECVD工艺低40-50%。PERC电池由晶体硅组成。对于背面的钝化

计算，Schmid集团应用于钝化膜和覆盖膜的APCVD技术，成本比ALD和PECVD工艺低40-50%。PERC电池由晶体硅组成。对于背面的钝化，Schmid采用APCVD在硅片上镀制氧化铝层；背面

的光伏电池组件、光伏装备电池工艺全都是独立自主研发，不需要依靠其他企业。红太阳光电工作人员刘良说。该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏

了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案，成为国内最大的太阳电池

道路。我们的光伏电池组件、光伏装备电池工艺全都是独立自主研发，不需要依靠其他企业。红太阳光电工作人员刘良说。该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等

情况下，使用捷佳伟创抗PID功能的PECVD生产的电池片组装的电池板，将有效降低产品功率的衰减，帮助光伏组件顺利通过最为苛刻的双85 PID实验。PID（Potential Induced