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PECVD
用到三氯氧磷气体，PECVD要用到硅烷气体，电极加工要用到银浆和铝浆，这些辅材的消耗量甚至不亚于主原料硅的价值。 在组件加工方面，要用到白玻璃，EVA薄膜（近期也产生了用有机硅薄膜的新产品
，PECVD要用到硅烷气体，电极加工要用到银浆和铝浆，这些辅材的消耗量甚至不亚于主原料硅的价值。在组件加工方面，要用到白玻璃，EVA薄膜（近期也产生了用有机硅薄膜的新产品），铝合金框（最近开始使用工程塑料代替
。 非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法有很多，其中包括反应溅射法、PECVD法、LPCVD法等，反应原料气体为H2稀释的SiH4，衬底主要为玻璃及不锈钢片，制成的非晶硅薄膜经过不同的电池工艺过程可分别制得单结
应用 光伏装备国产化会议---（专题讨论） 会议议题方向 国产化光伏装备现状 主设备国产化现状（晶硅炉、PECVD、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉、烧结炉、丝网印刷
，60%制造业都在中国生产，装备技术不可能没有进步。从光伏产业来看，已经从之前只有层压机、模拟仪、扩散炉发展到现在PECVD、铸锭路多涎（音）切割机都可以做。光伏技术、装备制造等都已都到世界前列，正在
、模拟仪、扩散炉发展到现在PECVD、铸锭路多涎（音）切割机都可以做。光伏技术、装备制造等都已都到世界前列，正在实现从中国制造到中国创造的转变；实现从学习到跟随，学习和跟随到创新和引领的这种跨越。我国
及最佳正常运行时间。同样重要的是降低昂贵的TMA前体材料的成本。最近，我们在亚洲主要的客户之一实施最具成本效益的TMA配方。现阶段，SoLayTec的ALD氧化铝比竞争技术，如PECVD AlOx少消耗4-5。
体量最大，吨位决定地位，就是60%制造业都在中国，这个装备不可能自己没有进步，也是现在过来了，过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，现在PECVD、铸锭路多涎（音）切割机都可以做，也走到世界前列，中国光伏
，就是60%制造业都在中国，这个装备不可能自己没有进步，也是现在过来了，过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，现在PECVD、铸锭路多涎（音）切割机都可以做，也走到世界前列，中国光伏已经在光伏产业，光伏市场
、光伏专用设备制造国产化进程加速，部分设备开始出口。我国太阳能电池制造设备和太阳能光伏组件封装设备已经成功实现了国产化，太阳能电池制造设备如扩散炉、等离子刻蚀机、清洗机、管式PECVD以及烘干/烧结炉
