PECVD

、清洗机、管式PECVD以及烘干/烧结炉，组件制造设备中的层压机，材料制造设备中的单晶炉、多晶硅铸锭炉、切片机等设备，以性价比优势取得了一定市场份额。(5)行业发展机遇①光伏行业增长较快，具有广阔的发展

Lausanne合作开发一种低温(200C) PECVD工艺，为了沉积硅片双面所需的非晶硅层，降低能源成本，使薄膜硅片得以加工，并且在正面接触使用相当少的银。 异质结电池包括两个超薄非晶硅层，其在N型单晶硅片和两层非晶硅之间创造异质结，提供提高的光捕获及转换效率。

，因此掌握了大量的大生产的工艺技术，也就是我所说的产业化技术。 同时，国产设备近些年的发展也非常快，最早我们只能做扩散炉，后来是刻蚀机、单晶炉、层压机，再后来是PECVD、铸锭炉、多线切割、自动化

。第四是边框打胶，看起来很简单的工作，如果你是搞生产的，你有工厂。你到一线去看十此，至少有九次打胶不合格。最后一个是PECVD的镀膜工艺，对PID的控制目前是比较有效。这样一些问题你短期看不到，全部都是

研究机构 Energy Trend 研究专家特别将针对市场及产品做专业解析。其中高效技术中PERC，N型单晶等技术都为关注重点。新世代的相关量产技术将由扩散炉管及PECVD领导荷兰设备商TEMPRESS首先

太阳能电池背钝化的方法 钝化是制造太阳能电池的一个重要工艺，目前商业化的太阳能电池的前表面钝化都采用PECVD沉积Si3N4膜钝化或热氧化生长SiO2+PECVD沉积Si3N4膜，且效果良好

光伏产业的整个经济优势。我们做了很多创新，我们抓住了里面的龙头就是高端装备国产化，我们有MOCVD、LPCVD、PECVD，我们有很多创新做法，目前在全球领域被工人的是第一代的晶硅，单晶和多晶，再加上
第一代的多膜技术，这个技术的装备就是右上角我今天给大家汇报的PECVD，我们在生产现场已经做到23%的效率，将来还会提升。所以，这些将来会不断的促进，提升我们整个这个行业的竞争能力。左上角是MOCVD

索比光伏网讯:特有的 PECVD设备能满足高效异质结电池的生产光伏技术在产生电能时可实现零CO2排放，因此被认为是重要的可再生清洁能源。光伏产业的目标是让光伏发电成本与传统的电网发电成本相比具有一定
8-12%的发电成本(LCOE)，其所处的地理位置不同，结果会有所差异。在制备HJT太阳能电池的过程中，PECVD在决定产品的性能方面扮演着最重要的角色。其不仅决定着钝化的效果，同时也占据了最大的设备

潜在开路电压（iVoc）值和iVoc均匀性；(b) 1,150mm1,450mm PECVD 托盘上5个点位置的器件iVoc值和iVoc均匀性； (c) 连续运行6个批次所得器件的iVoc平均值和均匀性
。 下一页 在制备HJT太阳能电池的过程中，PECVD在决定产品的性能方面扮演着最重要的角色。其不仅决定着钝化的效果，同时也占据了最大的设备成本，在整条生产线上，单纯的PECVD设备

特有的 PECVD设备能满足高效异质结电池的生产 光伏技术在产生电能时可实现零CO2排放，因此被认为是重要的可再生清洁能源。光伏产业的目标是让光伏发电成本与传统的电网发电成本相比具有一定的
光伏系统所计算出的相对于P型多晶组件的LCOE比例 (a) 6英寸硅片上5个点位置的潜在开路电压（iVoc）值和iVoc均匀性；(b) 1,150mm1,450mm PECVD 托盘上5个点位置