PECVD

清洗机、扩散炉、刻蚀机、PECVD及尾气处理设备、印刷机、烘干炉、烧结炉、石墨舟清洗烘箱、电池测试分选仪、包装设备、传输和装卸载等自动化设备等生产系统耗电，车间内照明、冷却塔、制冷机、空压机、干燥机
、湿法刻蚀用纯水量、电池片二次清洗、PECVD尾气清洗等生产系统取水量，冷却塔、工艺制冷系统、空调系统、空压机系统、环保设备等辅助生产系统取水量或分摊量，以及办公楼、科研楼、检测化验室、厂内食堂、厂内

，成功推出了具有自主知识产权的生产LED外延片的关键设备MOCVD、生产太阳能薄膜电池的关键设备PECVD和LPCVD等高端装备，其性能赶超国外同类设备，售价及综合使用成本降低30%以上。由于一直以来
，PECVD和LPCVD等高端装备一直列于重大装备进口免税目录中，享受零关税的优惠待遇。这使国内高端装备企业在与占垄断地位的国外同行的竞争中处于劣势，阻碍了高端装备的国产化进程。为有效支撑能源生产与消费

（PECVD）沉积多层非晶硅层以钝化硅片的表面，这在元器件的性能表现方面起到至关重要的作用。使用精曜科技的PECVD设备在160um厚的绒面常规n型CZ硅片表面沉积5nm厚的非晶硅钝化层，我们得到了非常低的
较高的载子迁移率和较低的自由载子浓度（FCC）。结合PECVD技术良好的表面钝化效果和RPD制备TCO的优异表现，我们初步在六英寸电池片上得到了大于21%的转换效率。 关键词：硅异质结太阳能电池

38.14亿港元的可换股债券，换股价为0.329港元。2010年6月，铂阳公告称与汉能控股签订总金额为25.5亿美元的销售协议（包含了420台PECVD设备及90台PVD设备）。当年，汉能表面上与铂阳

光伏制造设备专家Amtech Systems日前从中国和日本获得价值一千万美元订单。 系统订单涵盖扩散、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和离子注入系统，预计将在未来三至九个月
出货。 Amtech指出，其中一个订单包括多个Tempress PECVD系统，对于日本一家领先的太阳能电池和组件制造商。 Amtech首席执行官Fokko Pentinga表示：我们非常高兴在

中使用空间ALD解决方案，相较于PECVD氧化铝具有更高的潜力。SoLayTec公司联合创始人之一RogerGrtzen表示，我们的空间ALD工具相较于PECVD所具有的最大的优势包括：较大的解阶梯覆盖
、稳定的均匀性和三氧化二铝所要求的仅为5nm的叠层厚度。此外，如果在ALD电池工艺中，在SiN封层上直接使用PECVD，则可采用集成退火工艺，其最终制成的电池性能要比PECVD氧化铝工艺好得多

电池生产的升级。该套系统已被美国太阳能制造商Mission Solar Energy部署在n型生产扩展中。Amtech表示Solaytec ALD工具将与TEMPRESS PECVD程序进行组合一并推出

PERC和n型电池生产的升级。该套系统已被美国太阳能制造商Mission Solar Energy部署在n型生产扩展中。Amtech表示Solaytec ALD工具将与TEMPRESS PECVD程序

。 此外，在光伏装备制造方面，中国也正在缩小与世界的差距。过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，而现在PECVD、切割机等都可以国产化了，中国光伏已经在产业、市场、技术、成本甚至制造装备等各个方面都走到了世界

35%,为了减少表面反射,提高电池的转换效率,需要沉积一层氮化硅减反射膜。现在工业生产中常采用PECVD设备制备减反射膜。PECVD即等离子增强型化学气相沉积。它的技术原理是利用低温等离子体作能量源
、丝网印刷太阳电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后，已经制成PN结，可以在光照下产生电流，为了将产生的电流导出，需要在电池表面上制作正、负两个电极。制造电极的方法很多，而丝网印刷是目前制作太阳电池电极最