PECVD
6.4eV，折射率1.65左右，可以提供较好的背面光学反射功能。
氧化铝的厚度根据沉积方式的不同，厚度也不一样，一般分为PECVD模式(主要厂家是Meyer Burger，Centrotherm和
5. PECVD和ALD不同模式TMA的耗量(数据来源Taiyang News 2017)
PERC电池制作另一关键工序是激光开窗，通过激光热熔方法把背面需要形成铝硅合金接触的区域上面的氧化铝和
缺陷检测。EL测试的图像亮度与电池片的少子寿命(或少子扩散长度)、电流密度成正比，太阳电池中有缺陷的地方，少子扩散长度较低，从而显示出来的图像亮度较暗。电池制造过程，一般包括制绒、扩散、刻蚀、PECVD
NaOH溶液对p型(111)单晶硅片进行去除损伤层和制绒处理，硅片的厚度为190±10μm，电阻率为2±0.5Ω·cm。分别对硅片进行单面POCl3磷扩散，等离子增强化学气相沉积(PECVD)法单面
组件、智能组件及双玻组件隆重亮相2018SNEC展 。 电科装备 展位号：W2-520 电科装备携光伏领域取得的最新成果——大口径5管PECVD、平板PECVD、智能制造及高效PERC
——大口径5管PECVD、平板PECVD、智能制造及高效PERC电池等装备和产品亮相此次SNEC。 爱康绿色家园 W2-510 爱康绿色家园是国内首推全自主品牌系统配件和金
提高产量，节约生产成本。 3.2激光掺杂实验结果 用四探针对激光扫描的2020mm的样片进行方块电阻的测量，然后四组实验在相同的工艺条件下进行洗磷刻蚀、PECVD镀减反膜、丝网印刷电极和烧结
技术的深厚积淀，公司成为国内最早从事光伏装备研制生产的单位，研制生产出第一台国产多晶铸锭炉、第一台软着陆扩散炉、第一台管式PECVD等光伏专业装备，为中国光伏行业节约外汇160亿美元以上，为中国光伏
、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结等工序。每道工序过程中，由于存在人为因素、环境因素及机械不稳定等因素，造成硅片的一些缺陷及污染等，从而影响电池片的性能。因此黑斑片的出现，也许是硅片原材料的问题
实验
采用NaOH溶液对p型(111)单晶硅片进行去除损伤层和制绒处理，硅片的厚度为19010m，电阻率为20.5cm。分别对硅片进行单面POCl3磷扩散，等离子增强化学气相沉积(PECVD)法
仪器MeyerBurger的一体机式镀膜机、罗博特科自动化仪器;五是PECVD正面沉积氮化硅膜，在该工艺流程中所使用到主要仪器包括CT管式镀膜机、Baumann自动化;六是背面激光开孔实现背面浆料与
、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、粉尘污染等;PECVD工序:吸盘接触、皮带接触、导条接触、花篮接触、舟片接触、人员接触、粉尘污染等;激光开孔工序:吸盘接触、皮带接触、导条接触、花篮接触、粉尘污染
太阳能电池工艺流程 资料来源：OFweek行业研究中心 制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用PECVD法制备。 HIT
光伏行业，连续推出新型专业设备，先后获得当时的光伏龙头企业无锡尚德、江西赛维的订单。 如今公司成为国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营PECVD设备、扩散炉、制绒设备、自动化配套设备等
