PECVD
产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。
隆基方面的观点也得到了瑞士太阳能制造设备制造商梅耶博格(Meyer Burger)的认可。梅耶博格方面表示
：韩华声称基于使用原子层沉积(ALD)技术与隆基使用的PECVD技术并不相同，认同隆基声称的技术不受韩华指控的观点。
侵权专利疑似公共知识
所谓树大招风。
中国是世界最大的太阳能光伏生产国和
中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。
隆基方面的观点也得到了瑞士太阳能(4.270, -0.01, -0.23%)制造设备制造商
梅耶博格(Meyer Burger)的认可。梅耶博格方面表示：韩华声称基于使用原子层沉积(ALD)技术与隆基使用的PECVD技术并不相同，认同隆基声称的技术不受韩华指控的观点。
侵权专利疑似公共知识
太阳电池的制造存在如下三个问题： 必须重新购买设备，不能在已有的设备上进行升级改造。 由于PECVD以及PVD等设备的技术壁垒较高，国内均处于初步研发阶段。虽然国内也有相应的公司在设计开发以及出货
。同时，该专利至少已经在欧洲被其他人发起专利无效，专利权稳定性存在较大不确定性。从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致(专利采用的是ALD技术，隆基采用的PECVD技术)。 仅根据
实际这个标准仍不够。 近年来，国内部分企业已在积极布局开发高效太阳能电池技术。例如，上海理想能源设备公司成功自主研发出高效太阳能异质结(HIT)电池核心生产装备PECVD，已实现HIT电池效率超过
2.1SiNx薄膜钝化研究
SiNx薄膜的制备方法有多种，从工艺效果和工业化生产来考虑，目前应用于太阳能电池生产的制备方法主要是等离子增强化学气相沉积(PECVD)法，PECVD方法的过程是在
。反应气体主要为硅烷(SiH4)和氨气(NH3)，最终反应方程式如下：
SiNx薄膜对电池表面钝化原理：PECVD法在沉积SiNx薄膜时，会在薄膜中形成大量固定正电荷和游离的
在于：1)非晶硅薄膜沉积环节，使用CVD(PECVD或Cat-CVD)沉积本征氢化非晶硅层和P型/N型氢化非晶硅层;2)镀膜环节使用PVD或RPD沉积TCO导电膜;3)印刷电极方面需使用低温银浆;4
自主研发的HDT高效异质结太阳能电池技术，产品的转换效率居行业前列，更重要的是，钧石能源PVD、PECVD等核心设备均为自主研发并拥有自主知识产权，使项目投资成本大大缩减，也使电池的度电成本持续降低
在此不作赘述。
下面介绍一下背面钝化工艺、背面开槽工艺的主流设备和技术:
1)背面钝化设备:背面钝化设备是实现PERC工艺的主设备，其技术方案主要有PECVD(等离子体增强化学气相沉积
)、ALD(原子层沉积)两种，其他技术方案如APCVD、溅射法(Sputtering)等则应用较少。PECVD的优势在于能够将钝化层和保护膜在同一系统中进行沉积，且沉积速率更高，成本和单位时间产量均具有优势
