PECVD

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光伏行业迎拐点电池技术更迭利好设备商来源：东吴证券发布时间：2019-04-24 17:02:54

扩产高峰，我们认为高峰会延续到 2019-2020 年。 PERC 产线单 GW 设备投资额约 3.5-4 亿，丝网印刷、制膜(设备包括 PECVD 和 ALD)、扩散环节设备投资占比分别达到
将在 2018H2 和 2019 年确认收入，短期业绩高增长可期。捷佳伟创：产品线广、协同性强的电池设备龙头除丝网印刷外，公司基本涵盖了电池片生产的主要设备，包括 PECVD设备(市占率 50

太阳能电池光伏设备光伏行业

光伏电池片遭美国337调查江西这家企业“中招”了来源：中国江西网-信息日报发布时间：2019-04-10 08:40:54

声称的专利的初步分析，公司认为这些投诉没有技术或法律依据。晶科能源在发表的一份声明中说。隆基股份方面则表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，韩华专利采用的是ALD技术，隆基采用的PECVD

光伏发电海外市场光伏市场

新型银纳米点增强非晶硅薄膜的光吸收来源：网络发布时间：2019-04-02 14:40:27

增强化学气相淀积(PECVD)在Ag图形玻璃衬底上生长a-Si:H薄膜，再在玻璃背面涂Ag膜。为了比较，也在玻璃上淀积a-Si:H薄膜，而没有Ag纳米点。用扫描电子显微镜(SEM)观察AAO膜和Ag

非晶硅薄膜太阳能电池纳米点

捷佳伟创去年净利3.06亿元同比增长21% 董事长余仲年薪为122万元来源：挖贝网发布时间：2019-04-02 09:58:21

高新技术企业，主营产品为PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售。

捷佳伟创光伏光伏企业

深度报告：2019年异质结技术路线与产能汇总来源：索比光伏网发布时间：2019-04-02 09:43:15

的产能超过了600MW，产线平均效率为23%，在建的新产线效率将超过25%。产能分布主要HJT产商及产能生产设备 PECVD工艺单元处理的转换成本分解 TOC
沉积工艺技术概览 PECVD设备已经成为异质结电池生产的常规流水线设备，PECVD设备供应商包括瑞士的梅耶博格、INDEO tec公司、台湾的ARCHERS系统和中国的钧石能源和理想能源公司

HJT 异质结钧石能源

中国光伏企业驳斥韩华新能源侵权指控来源：中国能源报发布时间：2019-03-29 08:58:23

厂商为代表的原子层沉积(ALD)方式，以及以瑞士生产设备商Meyer Burger为代表的板式沉积(PECVD)方式。针对韩华新能源所控，隆基股份公开表示，公司产品采用的是PECVD技术，与
其他人发起专利无效，专利权稳定性存在较大不确定性。隆基股份在微信官方公众号上发文称。而按照韩华新能源的起诉逻辑，PECVD是其所拥有的ALD的一种，因此隆基股份及晶科能源存在专利侵权行为。一位

光伏韩华新能源

效率超过25%的高效电池最新进展及发展趋势来源：光伏测试网发布时间：2019-03-28 08:47:04

。 Fraunhofer研究所采用N型FZ硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ALD)氧化铝与等离子体化学气相沉积(PECVD)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。背面
采用上述TOPCon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，PECVD沉积n+掺杂的多晶硅，接着通过进行高温(70～900℃)退火和氢钝化改善硅薄膜的形貌与带隙，最后正、反金属化采用电子束蒸发的Ti/Pd/Ag

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