PECVD

声称的专利的初步分析，公司认为这些投诉没有技术或法律依据。晶科能源在发表的一份声明中说。隆基股份方面则表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，韩华专利采用的是ALD技术，隆基采用的PECVD

增强化学气相淀积(PECVD)在Ag图形玻璃衬底上生长a-Si:H薄膜，再在玻璃背面涂Ag膜。为了比较，也在玻璃上淀积a-Si:H薄膜，而没有Ag纳米点。用扫描电子显微镜(SEM)观察AAO膜和Ag

高新技术企业，主营产品为PECVD及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售。

的产能超过了600MW，产线平均效率为23%，在建的新产线效率将超过25%。 产能分布 主要HJT产商及产能 生产设备 PECVD工艺单元处理的转换成本分解 TOC
沉积工艺技术概览 PECVD设备已经成为异质结电池生产的常规流水线设备，PECVD设备供应商包括瑞士的梅耶博格、INDEO tec公司、台湾的ARCHERS系统和中国的钧石能源和理想能源公司

厂商为代表的原子层沉积(ALD)方式，以及以瑞士生产设备商Meyer Burger为代表的板式沉积(PECVD)方式。 针对韩华新能源所控，隆基股份公开表示，公司产品采用的是PECVD技术，与
其他人发起专利无效，专利权稳定性存在较大不确定性。隆基股份在微信官方公众号上发文称。 而按照韩华新能源的起诉逻辑，PECVD是其所拥有的ALD的一种，因此隆基股份及晶科能源存在专利侵权行为。 一位

。 Fraunhofer研究所采用N型FZ硅片，正面采用普通金字塔制绒，硼扩散，等离子体辅助的原子层沉积(ALD)氧化铝与等离子体化学气相沉积(PECVD)氮化硅的叠层结构起到钝化和减反效果。背面
采用上述TOPCon技术(基于硝酸热氧化化学工艺)，PECVD沉积n+掺杂的多晶硅，接着通过进行高温(70～900℃)退火和氢钝化改善硅薄膜的形貌与带隙，最后正、反金属化采用电子束蒸发的Ti/Pd/Ag

韩华Q-CELLS所提及的专利，这些诉讼缺乏技术或法律依据，将对韩华提出的诉讼进行有力的辩护。隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是PECVD技术，与涉案专利采用的ALD技术并不相同。而且，韩华

ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。晶科、REC也作出韩华的起诉缺乏法律依据和技术依据的类似回应。 事情的真相我们不予置评，但确确实实是一场由利益纠纷主导演化的专利纠纷。然而类似的事件并不罕见

ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。晶科、REC也作出韩华的起诉缺乏法律依据和技术依据的类似回应。 事情的真相我们不予置评，但确确实实是一场由利益纠纷主导演化的专利纠纷。然而类似的事件并不罕见

产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ALD技术，而隆基采用的是PECVD技术。 隆基方面的观点也得到了瑞士太阳能制造设备制造商梅耶博格(Meyer Burger)的认可。梅耶博格方面表示
：韩华声称基于使用原子层沉积(ALD)技术与隆基使用的PECVD技术并不相同，认同隆基声称的技术不受韩华指控的观点。 侵权专利疑似公共知识 所谓树大招风。 中国是世界最大的太阳能光伏生产国和