PECVD

HJT主要生产厂商及电池转换效率 PECVD工艺单元处理的转换成本分解 TOC沉积工艺技术概览 扫描二维码关注微信公众号智新咨询，了解更加深入的光伏行业信息

，特别是在PECVD/PVD镀膜、金属化和氢钝化等关键制程方面，东方日升已经形成了自己的独特技术。同时东方日升结合半片、多主栅等技术推动异质结组件的大规模量产，我们在浙江宁海的实证电站数据表明，我们的

利用大硅片的关键制约因在于扩散、退火、PECVD等过程的管式炉直径，略有一定倒角的M6硅片能够兼容近几年的设备，仅工装夹具的改造成本很有限。电池片功率增加带来的生产效率提升理论上可带来2.5分/Wp

非常重要。电池环节利用大硅片的关键制约因在于扩散、退火、PECVD等过程的管式炉直径，略有一定倒角的M6硅片能够兼容近几年的设备，仅工装夹具的改造成本很有限。电池片功率增加带来的生产效率提升理论上可带来

式设备扩散炉和PECVD，由于扩散炉的管径最小为290mm，可满足M6硅片223mm的外径尺寸，若兼容M6硅片，还需要在石英舟上进行合理的设计，王玉明介绍到，根据调研，目前市场上的PECVD主流设备
观点非常认同，他表示，硅片尺寸加大，PECVD的石英管内腔加大，使其电源功率更大，同样供应能力会有影响。 在王玉明看来，对于电池环节的丝网印刷机，硅片尺寸的增大势必会加大印刷行程，M2升级为M6硅片

2019中国国际光伏技术论坛(CITPV)在杭州举行。在电池结构及制备工艺的分论坛上，江苏微导纳米装备科技有限公司CTO黎微明指出，ALD正逐步取代PECVD成为主流钝化技术，降低了PERC生产成本
。 详细内容《《《《 3.上海理想万里晖薄膜张津岩：打破垄断，实现PECVD中国造 上海理想万里晖薄膜设备有限公司工艺执行总监张津岩在2019CITPV上介绍道，理想万里晖研制的PECVD设备打破了该

量产型PECVD设备生产的SHJ电池下线成功，转换效率达到23%。PECVD团队累计承担国家科技部863、上海市战略新兴重大产业等6项科研项目，申请超过50项国内外专利，填补多项国内空白，奠定国内高端
PECVD设备第一的地位。 高端PECVD装备的核心优势一是在于抽屉式反应腔，可放入不同型号的设备工艺共享，研发工艺可直接导入量产设备大规模生产。不同的产业化设备，可以使用同样的反应腔。从研发中试线

总监张津岩介绍道，理想万里晖研制的PECVD设备打破了该领域设备一直被国外厂商垄断的局面，实现高端装备中国造。 2017年10月理想万里晖顺利完成首台SHJ用量产型PECVD产品发货，打破了国外
供应商的垄断，成为国内新建SHJ产线的首选PECVD供应商。张津岩指出，高端PECVD装备的核心优势一是在于抽屉式反应腔，可放入不同型号的设备工艺共享，研发工艺可直接导入量产设备大规模生产。不同的产业化

PECVD设备生产的SHJ电池下线成功，转换效率达到23%。PECVD团队累计承担国家科技部863、上海市战略新兴重大产业等6项科研项目，申请超过50项国内外专利，填补多项国内空白，奠定国内高端
PECVD设备第一的地位。 高端PECVD装备的核心优势一是在于抽屉式反应腔，可放入不同型号的设备工艺共享，研发工艺可直接导入量产设备大规模生产。不同的产业化设备，可以使用同样的反应腔。从研发中试线的研发

， 尤其是采用微导专利的ALD镀膜技术，PERC电池在抗LeTID的性能上具有显著的提升作用。有意思的是，这个结果是和现有PERC电池采用PECVD背钝化工艺相比较下得到的。他们通过对下面的实验结果进行对比
得出结论，ALD和PECVD镀膜技术在降低LeTID衰减中的有着明显不同的表现。根据新南威尔士大学的分析，其原因在于ALD 三氧化二铝薄膜具有高质量，致密无针孔的特性，可以有效阻挡氮化硅薄膜中的