PECVD
制造成本上升，并对客户的产品选择，光伏系统的安装，上下游协同等造成较大困扰，同时造成新增投资的冒进和固有投资残值的巨大浪费。比如，除了包括扩散炉、PECVD、丝网印刷等恰恰是最贵设备的不断更新带来的
为5道。而在扩散和PECVD过程中，取得更高的面积通量和产能优势。在丝网印刷过程中，沿短边158印刷，也能做到节拍更快的同时获得更高面积通量，产能大幅度提升。 第三、效率、良率提升。由于最短扩散长度
兴建，计划总投资15亿元，项目建成后预计年均实现销售收入26亿元，利税突破4亿元。 高登赛1GW高效异质结太阳电池项目，采用国际最先进的清洗制绒机、PECVD非晶硅镀膜机、PVD沉积导电膜机和电极印刷机
和验证阶段;待进入第二阶段，核心设备的供应商仍是海外厂商，但 凭借良好的产品性价比，国内设备厂商崭露头角，国产的 PECVD、ALD 和激光开槽设备逐 步获得了市场的认可;到了第三阶段，国产设备成为
生产 PERC 电池的主流设备，PERC 的 核心设备实现进口替代。
异质结设备领域，国内外设备厂商差距缩小，设备国产化进程或将提速。国产 PECVD 现已进入异质结试验线的供应体系，在沉积本征
，主要聚焦等离子化学气象沉积镀膜设备(PECVD)和新式TCO镀膜设备，双方将共同开发具有自主知识产权和技术专利的新技术和新工艺，最终实现专利技术成果共享。 爱康科技多年前就开始涉足异质结研发与制造
设备国产化状况进行分析。
①HJT的制绒和丝网印刷与 PERC技术相差不当。
②非晶硅薄膜沉积主要使用PECVD(离子体增强化学气相淀积)方法，目前国外主流厂家为Meyer Burge。国内厂家
包括理想、钧石能源、迈为股份。其中理想万里晖已经实现了对客户的出货，钧石能源已经实现了在自身生产线上的应用。
目前主要使用的管式PECVD设备，用石英管作为沉积腔室，使用电阻炉作为加热体，将一个可以
于投资年产40台(套)光伏异质结(HJT)高效电池片用PECVD设备项目及补充流动资金。项目投资总额为2.85亿元，其中固定资产投资2.75亿元、铺底流动资金1000万元。预计本项目正常达产后可形成
核心生产装备PECVD设备的市场，进一步提高公司在光伏行业智能制造装备领域的市场地位。
4月30日，金辰股份发布2020年一季度业绩报告，据报告显示，一季度实现营业收入159488884.12元，同比
实验采用原子层淀积(ALD)的方式生长Al2O3;在Al2O3表面镀一层约150nm的SixNy保护层后，使用PECVD技术在硅片正表面镀一层厚度约为80nm的SixNy减反膜; 3. 最后采用激光
%。
设备国产化加速推进：目前制约异质结电池产业化规模的主要原因之一是核心工艺设备板式 PECVD 无法兼备大产能、高良率、低价格三要素。针对这一问题，国内设备厂商近年来已进行了多方面的深入研发，且已
取得了阶段性成果。根据上市公司与产业信息，目前钧石能源自研产线可以支撑量产电池片平均效率达到 24.2%;理想万里晖 PECVD 设备实现实验室转换效率 25.1%;迈为股份自主研发生产 PECVD
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设备国产化加速推进：目前制约异质结电池产业化规模的主要原因之一是核心工艺设备板式 PECVD 无法兼备大产能、高良率、低价格三要素。针对这一问题，国内设备厂商近年来已进行了多方面的深入研发，且已
取得了阶段性成果。根据上市公司与产业信息，目前钧石能源自研产线可以支撑量产电池片平均效率达到 24.2%;理想万里晖 PECVD 设备实现实验室转换效率 25.1%;迈为股份自主研发生产 PECVD
