PECVD
型技术产线建设。面对目前巨大的PERC电池产能，TOPCon和PERC电池技术和产线设备兼容性较强，以PERC产线现有设备改造为主，主要新增设备在非晶硅沉积的LPCVD/PECVD设备以及镀膜设备环节
40%;
3)设备方面降本：目前单GW成本低于4亿元，未来仍有40%降本空间。HJT制作工艺流程大幅简化，制绒清洗、非晶硅薄膜沉积、TCO薄膜沉积、电极金属化四个步骤，分别对应制绒清洗、PECVD
应用面最广的是1965年发明的PECVD(等离子增强化学气相沉积)技术，而另一项在十多年后首次提出的HWCVD(热丝化学气相沉积，也称HFCVD)技术，经过技术不断的进步，也获得了越来越多的应用
：
HWCVD技术比PECVD技术发展起步晚了约20年，它与其他技术相比最大的优势是成膜速度快和可实现无损镀膜。随着HWCVD技术的不断成熟与发展，它在设备造价和运行成本上的优势也越来越明显，因此受到了
0.19元/W。 作为光伏组件设备龙头的金辰股份，在HJT领域已有所成就。今年6月份，该公司首台自主研发 HJT用 PECVD 运抵晋能科技(国内最早进行HJT电池研发和量产的龙头企业)。目前处于
近日，理想万里晖微晶VHF PECVD设备助力隆基再次打破HJT电池效率世界记录，达到25.82%!
隆基研发团队在理想万里晖VHF PECVD设备上，半年内连续两次突破HJT电池效率世界
理想万里晖VHF PECVD在微晶硅薄膜制备过程中，具有离子损伤低、沉积速率高、晶化率高等优势，应用微晶-HJT技术，可将目前的HJT电池量产效率提升1.5个点以上，HJT电池即将进入25.5
下降至2.5亿元。
测算得出，2025年HJT设备市场空间有望达419亿元，2020-2025年CAGR达80%，其中PECVD设备规模达210亿元，市场将迎来爆发式增长。
通用设备行业具有较强的
设备分别为清洗制绒设备、PECVD设备、PVD/RPD设备、丝网印刷设备,在设备投资额占比分别约10%、50%、25%和15%。
1)制绒设备：主要是利用化学制剂对硅片进行清洗和表面结构化，核心设备
规模量产，也具有重要意义。 金石能源是全球最早进行异质结电池装备研发的企业之一，公司具备先进制程能力、工程量产能力和装备开发能力三位一体的核心竞争力，拥有PECVD和PVD等核心设备自主知识产权
HIT转换效率提升路径清晰，预计2025年HJT量产平均转换效率达26%+，HJT+钙钛矿中试线效率可达28%。按照目前HJT电池厂对HJT技术升级的规划，预计21年通过改变PECVD镀膜顺序、吸杂
效果是关键，提升钝化效果的关键是降低杂质影响，目前可通过改变镀膜顺序和预处理工艺来减少杂质。
改变PECVD镀膜顺序，减少本征层硼污染，转换效率有望提升0.15%。目前生产HJT镀膜一般先完成一面
万里晖作为华晟新能源一期电池项目的主要设备供应商，在完成该项目验收后，再次获得其二期项目订单，并与其形成战略合作伙伴关系。 理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列PECVD
PERC 电池的市场 占比提升至 15%。
设备端：国产设备工艺日趋成熟，逐步打破国外垄断。以国内设备商捷佳伟创为例， 通过在电池片设备领域的深耕，其 PECVD 设备性能不断提升，2017 年
年，通威向捷佳伟创采购 PECVD 设备 的总金额超 4 亿元，标志着国产设备受到电池龙头的认可。
复盘渗透率的表现来看，2017 年常规 BSF 电池依然占据主流地位，市占率仍高达 83%。随着
，后期将逐步提升;另外产品技术方面也取得了重大突破，其中PECVD工序在一定条件下电池核心性能少子寿命平均突破3.5ms(毫秒)，从而导致TCO导电薄膜稳定在100c㎡/vs以上，极大的提高了异质结电池
