PECVD

做到60分，这就是头部企业和中小企业的差异。另外，光伏设备整体的持续的迭代能力在增强，能不断适应下游的需求，比如PECVD的生产，2018年不到4000片/小时，而现在已经提升到8000片/小时。中国的

金石能源有限公司提供。金石能源是国内最早从事异质结技术与装备研发的核心企业，拥有PECVD和PVD等核心装备的自主知识产权；PECVD采用大腔室、大产能设计，具备优异的扩展性，可进行技术升级，未来也可适用于

沉积、TCO 制备、电极制备，对应的设备 分别为清洗制绒设备、PECVD 设备、PVD/RPD 设备、丝网印刷设备,在设备投资额占 比分别约 10%、50%、25%和 15%。 1）制绒设备：主要
） PECVD（非晶硅薄膜沉积）：该步骤取代了传统 PERC 工艺中的扩散工艺，是构造异 质结结构的关键，难度、壁垒最高，价值占到全部设备的 50%，为异质结设备的核 心。 从技术路径上：板式 PECVD 是

设备（投资占比25%）和丝网印刷设备（投资占比15%）。其中制绒清洗设备和丝网印刷设备已经实现国产替代；迈为股份、捷佳伟创、理想万里辉和钧石能源均有PECVD设备销售；迈为股份、捷佳伟创、钧石能源均有

25.18%；其TOPCon技术采用210尺寸PECVD隧穿氧化/多晶硅沉积设备和工艺，研发线平均电池效率达到24.10%。据悉，通威将建设1GW HJT及1GW TOPCon中试线。 7月12日

《金辰股份首台异质结设备落地晋能》点评：战略意义重大，成长空间打开。 异质结（HJT）设备： 公司首台HJT用PECVD设备已运送抵达晋能科技，战略意义重大。 1）公司设备参数领先，研发团队
经验丰富。 公司2017年起着手异质结PECVD（PECVD在光伏异质结设备中价值量占比50%以上，是4大环节中难度最大的环节）。与德国H2GEMINI合作，技术实力+股权机制行业领先。公司技术团队

的过程中，设备公司具有较高的业绩弹性，目前主流HJT所需设备包括清洗制绒、PECVD、PVD(RPD)、丝网印刷设备，其中迈为股份、捷佳伟创、金辰股份、钧石、理想万里晖等国内公司的HJT设备已进入产线，帝尔激光的激光LIA设备已获得欧洲HJT客户千万级别订单。

管式 PECVD、LPCVD、PEALD 多技术路线设备共存，国内电池设备厂商(金辰、捷佳、拉普拉斯、江苏微导等)已纷纷在不同技术路径进行布局，未来 3 年将受益 PERC 产线升级 TOPCon

25.18%；其TOPCon技术采用210尺寸PECVD隧穿氧化/多晶硅沉积设备和工艺，研发线平均电池效率达到24.10%。据悉，通威将建设1GW HJT及1GW TOPCon中试线。 7月12日

，感谢您对公司的支持与关注!公司于2020年自主研发出了HJT四种生产设备中最核心的两种设备：CVD镀膜和TCO镀膜设备，即首台国产大产量RPD5500A设备和异质结关键设备板式PECVD，并先后出厂交付
。特别是RPD设备能够在常规HJT的基础上为高效HJT带来保守0.6%以上的效率增益。公司已成为全球第一家且唯一一家完成全线四道工序完全自主开发的整体异质结电池解决方案设备提供商。PECVD设备将和