PECVD

近日，SOLARZOOM记者独家获悉，异质结设备龙头迈为收到来自REC的HJT异质结整线电池设备订单，订单包含PECVD、PVD、丝网印刷等核心设备，用于REC位于新加坡的400MW异质结电池
生产线。 来自REC的消息称，此次订单是基于公司长期的调研、测试和研究的结果。自前期600MW异质结电池生产线的设备配型中，REC选定梅耶博格的PECVD、PVD以及迈为的丝网印刷之后，REC就开始接触并

提效降本是HJT电池产业化的双向动力，也是金石能源努力为客户实现商业价值的方向。金石能源HJT电池双面微晶化PECVD设备配合公司各项专利技术，在转换效率提升的同时，也努力在持续降低成本方面领跑行业
电池双面微晶化PECVD设备 金石能源及其关联企业钧石能源是国内率先实现微晶电池产业化的企业，经过十多年的技术突破和工艺改进，推出了技术成熟的HJT电池双面微晶化PECVD设备。 2007年

产业化阶段，公司在HJT和TOPCON技术路线上进行了全面布局，未来都能够为客户提供性价比高的设备。谢谢! Q：迈为pecvd产能14400片/H，捷佳pecve只有8000片/H，RPD5000片/H
土的精神，在光伏设备升级改造的浪潮中更进一步，从而维护公司在市场中的地位，回馈股东。谢谢。 A：感谢您的关注和建议。公司已在TOPCON技术领域推出了LPCVD和三合一管式PECVD，能够满足客户的

测试中心认证效率已达25.53%。 研发历程： 自2019年起，金辰股份与中科院宁波材料所团队合作开发量产型管式PECVD装备及其全套技术。经过两年半的共同研发，探索出用管式PECVD装备实现
下降，并在设备可维护性等方面满足量产需求。 合作进展： 金辰管式PECVD装备将其应用于TOPCon。目前，金辰管式PECVD装备在多家光伏龙头公司已通过中试验证，量产n型TOPCon电池平均效率

。 值得一提的是，该电池采用了基于等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备的新型多晶硅化物薄膜，可显著增强表面钝化、降低中长波段寄生吸收，同时兼顾载流子选择性收集，能够全面提升填充因子、短路电流及开路
领域的重要内容。 中科院宁波材料所硅基太阳能及宽禁带半导体团队在叶继春研究员带领下，于2015年底开始布局研究TOPCon技术，是国内最早开展相关研究的科研机构之一，围绕PECVD路线开展TOPCon

巨大的 PERC 电池产能，TOPCon 和 PERC 电池技术和产线设备兼容性较强，以 PERC 产线现有设备改造为主，主要新增设备在非晶硅沉积的 LPCVD/PECVD 设备以及镀膜设备环节。目前
是隆基股份布局; 3) 方法三：原位掺杂。PECVD 制备多晶硅膜并原位掺杂工艺。该方法沉积速度快，沉积温度低，还可以用 PECVD 制备多晶硅层，简化很多流程，实现大幅降本。气体爆膜现象已经得到解决

与迈为开发的大产能PECVD、PVD，并结合最新的自动化智能制造技术，实现对单硅片的全制程数据追踪与工艺自控制，做到业界更先进、更智能、转化效率更高的太阳能电池生产线，并在GW级的生产上得到验证。双方

设备，是未来2-3年最具性价比的技术路线。TOPCon和PERC电池技术和产线设备兼容性较强，以PERC产线现有设备改造为主，主要新增设备在非晶硅沉积的LPCVD/PECVD设备以及镀膜设备环节
，PERC产线需要6000-8000万元/GW改造升级为TOPCon产线。改造方式以多技术路线并进，包括LPCVD和PECVD两条路，分为三种工业化流程： 1)方法一：本征+扩磷。LPCVD制备多晶硅膜结合