PECVD
放电技术。13.56MHz射频技术的优点有：1.
13.56MHz射频(RF)等离子体辉光放电技术可以完美适用于大腔室的PECVD设备，可以实现大腔室PEVCD设计。公司采用此技术推出了800MW
异质结电池单体PECVD生产设备，是目前全行业最大的产能设备2.制备的微晶硅薄膜具有极佳的均匀性3.制备的微晶硅薄膜的工艺窗口较宽4.制备的异质结电池具有极佳的稳定性和可靠性5.采用该技术的PECVD
国内知名科研院所广泛开展产学研等活动，研发高效TOPCON电池和异质结(HJT)电池用关键工艺装备(PECVD)技术，现已拥有核心技术专利500余项，其中发明专利243项，并获得中国国家科技部火炬计划
重点新产品等诸多荣誉，连续十余年被认定为“国家级高新技术企业”。金辰股份HJT PECVD设备此次，金辰股份获评“省长质量奖”，充分展示了金辰股份在提高产品和服务质量、自主创新等方面取得的卓越成绩。获奖
：新建1.2GW2022年4月14日，隆基绿能科技股份有限公司西咸新区分公司隆基股份中央研究院一期中试项目环境影响评价公众参与第一次信息公告。公告显示，该项目采用激光切割机、制绒清洗机、PECVD、PVD
了光伏行业首个国家工程研究中心。在潜心于技术创新的同时，公司也同样关注技术成果的转化。作为异质结装备与技术引领者，金石能源具备先进制程能力、工程量产能力和装备开发能力三位一体的核心竞争力，拥有PECVD和
PVD等核心设备自主知识产权，依托异质结整线装备技术，推出的“低银耗技术”、“异质结HBC技术”、“双面微晶化PECVD设备”等技术和产品均具有技术前沿性和创新性，赢得了市场和客户的高度认可，异质结
光伏行业技术革新与产业发展。近年来，金辰股份在不断提升高效光伏组件装备研发制造水平的基础上，TOPCon高效电池和HJT高效电池PECVD设备方面也取得重大突破。现已拥有核心技术专利500余项，其中
近期，2022年度江苏省工业和信息产业转型升级专项资金(第三批)拟安排项目公布，晟成光伏“基于PECVD&PVD技术的高效节能TOPCon电池镀膜设备的研发”项目成功入选关键核心技术(装备)攻关
基础高级化、产业链现代化水平。晟成光伏高效节能TOPCon电池镀膜设备，基于智能制造设计理念，采用具有自主知识产权的硅片清洗技术、PECVD&PVD结合的新型工艺路线及动态镀膜技术，实现TOPCon
工序的设备均不能和PERC共用，比如制绒清洗、PECVD、PVD等均是要新投入。而TOPCon和PERC可以共用绝大部分工序的设备，只要PERC车间有预留空间，就可以直接升级为TOPCon，且单GW
电池片主流路线。在这样的背景下，迈为股份积极布局了HJT高效太阳能电池整线设备，自主研制了HJT太阳能电池PECVD真空镀膜设备、HJT太阳能电池PVD真空镀膜设备等。去年更是创下了HJT转换效率
25.54%的世界记录，可见公司在HJT方面的实力，目前公司HJT PECVD设备市占率已超60%。据年报交流上的信息：2021年HJT总体市场订单8.1GW ，迈为就拿到了5.8GW
，而且都已
开发能力三位一体的核心竞争力，拥有PECVD和PVD等核心设备自主知识产权，依托异质结整线装备技术，推出的“低银耗技术”、“二代异质结HBC技术”、“双面微晶化PECVD设备”等技术和产品均具有技术
TOPCon光伏电池背钝化镀膜设备的优缺点进行深入分析，晟成光伏决定采用PECVD镀膜与低损伤PVD镀膜相结合的技术方式来制备TOPCon电池的背面隧穿二氧化硅膜层和掺杂非晶(碳化)硅膜层。该技术方式可以有效
减少甚至避免目前行业内LPCVD设备出现的绕镀问题，以及管式PECVD容易出现的爆膜、石墨舟寿命低及量产不稳定的问题，同时又可以进一步规避采用大尺寸线性离子源依赖进口、造价昂贵和膜层均匀性较差的问题
