PECVD
近日，《东吴光伏圈》获悉，无锡松煜科技有限公司先后签订了近4亿TOPCon设备订单，包含ALD、硼扩、退火、LPCVD、PECVD等设备。其中ALD原子层沉积设备实现公司有史以来100GW订单突破
使用寿命延长也取得初步成果;PECVD-poly技术上，已掌握大批量数据并正在测试验证中。松煜科技是一家集开发、生产、销售为一体的高速发展的光伏设备及半导体工艺设备专业制造商，本次近4亿元的光伏
批次电池的PECVD工艺在迈为最新一代的量产双面微晶设备上完成，优化了钝化层和微晶p工艺，同时结合PVD新型TCO工艺。在电池的金属化方面，SunDrive优化了其无种子层直接电镀工艺，使电极
高宽比得到提升(栅线宽度可达9μm，高度7μm)。迈为股份与SunDrive自2021年起合作研发高效HJT电池，迈为提供蓝膜片全部工艺制程，在其自主研制的异质结高效电池量产设备(包括清洗制绒、PECVD
：本次整线设备采购包含但不限于制绒清洗设备2台、PECVD真空镀膜设备3台、PVD磁控溅射设备3台、丝网印刷设备5台及匹配的电池段整线自动化设备和辅助设备的制造、供货、包装、仓储、运输、吊装、拆箱
、生产制造主设备中至少一种设备。(主设备指制绒清洗设备、PECVD真空镀膜设备、PVD磁控溅射设备、丝网印刷设备。)3.2本次招标不接受联合体投标。3.3投标人经营行为：未被相关行政执法部门依据
磨加工到光伏电池工艺，为光伏事业提供全产业链的设备和自动化全方位的服务。连城数控依靠持续不断的科技创新能力，专注光伏和半导体产品制造和解决方案，业务涵盖开方机、截断机、切片机系列，单晶炉系列，激光划片机系列，ALD、PECVD、扩散炉系列，智能制造生产线等
近日，金辰股份首台套微晶HJT PECVD量产设备成功交付发货，发货仪式在金辰股份营口总部和北京分公司举行。HJT异质结是下一代高效光伏电池技术，PECVD设备又是异质结技术路线中的核心。金辰股份
历时三年研发核心技术。2020年，金辰股份组建团队开始研发HJT
PECVD设备;2021年6月，金辰股份自主研发的首台HJT PECVD设备进驻晋能科技并成功通过设备工艺验证;三年磨一剑，今天首台
业务实现电池销量21.79GW，同比增长54.55%。光伏发电业务新建装机并网规模433.38MW，同比增加34%。电池新技术研发方面，公司TOPCon采用了自主研发、行业领先的210 PECVD多晶硅沉积
由金石能源全面提供产线布局设计、产线规划、效率保证、技术支持与服务等。国晟能源重点考察了公司微晶化的掺杂层工艺技术及相应的PECVD设备，多次派出技术团队进行驻厂调研，对公司异质结电池量产线、微晶化的
掺杂层工艺PECVD设备等进行跟线、调研和取样检测。重点对“微晶化的掺杂层工艺PECVD设备的稳定性”、“微晶电池转换效率达标率”、“微晶工艺的电池效率提升”等关键性指标进行验证，对公司的微晶掺杂层
转换效率比单面微晶电池的又提升了0.4%。制备上，该公司采用了13.56MHz射频(RF)等离子体辉光放电技术，完美适用于大腔室的PECVD设备。公司采用此技术推出了800MW异质结电池单体PECVD
。2021年度公司研发费用达3.3亿元，占营业收入比重达到10.7%;持续引进高端人才，有研发人员899人。2021年公司取得59项专利及21项软件著作权，“HJT2.0异质结电池PECVD量产设备”荣获
——800MW的PECVD设备，凝聚了公司17年真空设备经验和11年异质结技术积累，是目前市面上腔室最大的PECVD设备!800MW产能异质结电池生产线实现了“大产能与产线稳定性的平衡”、“大腔室与产品整体
”问题，同时，又能很好融入低银耗技术、微晶技术等，可作为升级到新一代异质结HBC技术的通用平台。大产能|单机产能达19314片/小时单机800MW产能的异质结电池生产线采用金石能源7代技术，PECVD
