PECVD
近日，皇氏集团(002329)在接受调研时表示，目前已着手在安徽阜阳建设20GW TOPCon电池生产厂，阜阳市政府对于项目的建设给予了极大的支持，生产厂采用政府代建企业5年免租的方式，未来再由项目公司逐步进行回购，大大减轻了项目公司的资金及经营压力。目前，皇氏农光互补已在阜阳成立项目公司——安徽皇氏绿能科技有限公司负责项目建设及运营工作，该项目已经开工建设，预计将于2023年6月、10月各
结构;非晶硅镀膜技术有PECVD和CAT-CVD两种路线，透明导电膜(TCO)镀制也有PVD和RPD两种路线;低温银浆亟需国产化，HJT对银浆需求量大增;TCO镀膜需求增加，带动靶材需求高增。IBC：增加背面
的重要一环，是万里晖实现跨越式发展的里程碑，打响了公司IPO上市战略的第一枪，迎来了具有深远历史意义新起点。理想万里晖致力于实现光伏异质结设备和生产线、集成电路PECVD设备的国产替代及降本增效
，开发性价比更高、性能更稳定的PECVD产品、PVD产品和双面微晶HJT整线交钥匙产品。公司HJT交钥匙整线集成自研能力高，可为客户提供PECVD产品、PVD产品和双面微晶HJT整线集成及交钥匙服务，自去年
、高智能和多节能”的特点，同样采用金石能源7代技术，核心PECVD腔室在日本精密制造，确保了设备的高质量高稳定性。7代技术的核心部件Showerhead设计集合了金石深耕PECVD11年的设计开发经验
设备均有布局，其中TOPCon设备中，其与客户联合开发PECVD/PVD二合一设备。目前设备已完成研发，预计将于今年推向市场。2021年11 月，其首台HJT清洗制绒设备交付客户。业内人士认为，放眼
技术管理工作，不断对工艺进行管控、优化和调整，实现公司产品转换效率持续提升。LPCVD、PECVD作为TOPCon电池生产技术工艺路线的两种方式，各有特点。目前LPCVD较为成熟，公司采用LPCVD技术
，于行业内率先实现量产。公司也积极关注PECVD的技术研发情况，并进行相应的技术储备。据上饶捷泰新能源科技有限公司官网显示，公司坐落在江西上饶经济技术开发区，是一家在国内A股上市的国家级高新技术企业，是
研制和销售。公司凭借板式原子层沉积ALD设备四代机，配套自主创新的管式PECVD、硼扩散、Poly-Si等设备，成为高效N型TOPCon光伏电池片镀膜设备主力军，并针对钙钛矿叠层电池成功开发出镀膜
了13.56MHz射频(RF)等离子体辉光放电技术，无可争议地可以制备出高转换效率、高稳定性、高可靠性的微晶HJT电池。第二，公司采用13.56MHz射频(RF)等离子体辉光放电技术推出的PECVD设备可以实现
大腔室、大产能，电池产品具有极佳均匀性。13.56MHz射频(RF)等离子体辉光放电技术在微晶HJT电池量产上已经具有极高的成熟度，近期公司推出的目前全行业最大的PECVD设备——800MW
电压(Voc)和填充因子(FF)均得到了提升。该批次电池的PECVD工艺在迈为最新一代的量产双面微晶设备上完成，优化了钝化层和微晶p工艺，同时结合PVD新型TCO工艺。在电池的金属化方面
高效电池量产设备(包括清洗制绒、PECVD、PVD等)上完成。电池片电极由SunDrive在其无种子层电镀设备上完成。在过去不到一年的时间内的技术迭代及工艺优化，双方联合开发的无银异质结电池转换效率
导电氧化物(TCO)导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备;多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备(PECVD)、干法刻蚀机
