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PECVD
，哪些会继续使用?a7:清洗，PECVD，RPD是新设备，丝网印刷会继续使用。Q8:国内有哪些PECVD做的好的企业?a8:迈为股份和理想万里晖。Q9:国内有没有靶材比较好的企业?a9:高端靶材基本都是从
结构高效异质结电池3.高可靠性异型焊带组件技术4.管式等离子体多晶硅淀积炉5.光伏组件用镀镁铝锌钢制边框6.基于13.56MHZ射频技术的大腔室PECVD整线HJT电池生产线创新解决方案7.基于机器视觉
的产业痛点。一年后，晋能科技光伏技术团队与中国电子科技集团等单位合作完成国内首台异质结大产能PVD设备的开发;2021年，晋能科技与金辰机械合作开发应用于异质结电池生产的大产能PECVD设备，在产品
主要针对两个方面，尤其是异质结里面最核心的设备PECVD，并已经完成了一个整机量产机型的PECVD，可以实现最大的板片（1.2万片），这个设备相对比较成熟，量产也已经完成了出户，并在设计上也有一些改变
，包括顶升改进和温区的改进，以及异质结提效方面的研究。除此之外，我们也在钙钛矿电池方面有所布局，包括钙钛矿本身的材料、传输层等，我们还在原有的基础上做了延伸，利用PECVD来做一些电子传输层，逐渐代替
;第三种是PECVD 制备多晶硅膜并原位掺杂工艺。目前虽以PECVD为主，但是成膜速度慢等问题仍然是痛点。工艺繁杂会带来良率的劣势，再加之增加的工序技术路线并不统一且难度较大。导致TOPCon整体良
LPCVD的路线还是会选择PECVD的路线?答：LPCVD和PECVD各有优势。当前阶段LPCVD较为成熟，公司也较好掌握了LPCVD技术路线的量产技术，并持续进行降本增效的改善工作。另一方面，公司时刻
、填补国内空白，公司VHF-PECVD产品助力国内一线大厂多次打破HJT电池效率世界记录，是异质结电池整线交钥匙工程的领先供应商。上海电气电站集团(以下简称电站集团)是上海电气集团股份有限公司(以下
改造的性价比更合适；在设备选择上，TOPCon技术方案多样。主要分歧在隧穿层及多晶硅镀膜工艺上有所区别，目前的主流工艺是LPCVD+磷扩；PECVD工艺优势明显，目前正处于产业化验证期；PVD法主要
提效，目前已做好了各方面的技术准备。帝科股份表示，公司TOPCon导电银浆一直处于大规模出货阶段，包括晶科能源在内的行业领先客户等。未来TOPCon无论背面是LPCVD还是PECVD制程，还是正面激光SE工艺等，公司都做好了相关技术储备与应对方案。
使用不同的镀膜方法进行制备。主要方法可分为 物理气相沉积
PVD、化学气相沉积 CVD、原子层沉积 ALD。在光伏行业中应用 较多的包括 PECVD, ALD, LPCVD, PVD 等技术
。PECVD(等离子体化学气象沉积): 借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的 气体，在局部形成等活性较强的离子体，在基片上沉积出薄膜。主要用于制备氮
化硅，氧化铝及非晶硅膜层中，在 PERC, TOPcon
