PECVD

异质结组件低成本大规模量产化发展。2022年中旬，晋能科技与金辰股份联手测试后者自主研发的异质结PEVCD设备，共同完成非晶PECVD镀膜设备工艺验证，并正在携手开发“基于微晶的异质结太阳能电池
PECVD工艺”，加快推动异质结关键设备国产化进程，降低产线前期布局成本。此外，公司还在浆料耗量、硅片薄片化、银铜浆料应用、优化铟靶材等领域推动异质结降本，并动员研发团队对现有工艺降本的其他可行点进行全面评估

核心设备。目前，薄膜沉积设备主要分为LPCVD、PECVD、PEALD三种技术路线，其中技术方案最为成熟的LPCVD是市场主流，市占率超过90%。不过，由于其存在绕镀（降低良率）、石英管寿命低（增加
成本）等问题，因此PECVD、PEALD等技术路线有望“后来居上”。 | 聚焦ALD技术自2015年成立以来，微导纳米始终聚焦于原子层沉积（ALD）技术，并先后研发出ALD、PEALD二合一、PECVD等

多家龙头企业的订单，皆源自于公司整线装备及PECVD、PVD等核心设备具有技术先进性和优良的稳定性，这些特性在众多已运行的客户产线项目上得到了验证。十多年来，金石能源始终以技术推动低碳行动，依托光伏行业唯一“高效太阳电池装备与技术国家工程研究中心”，相信将有更多突破性的设备服务于新能源行业的发展。

应用领域的多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、PEALD二合一、PECVD系列产品，并提供配套产品及服务。在光伏领域，微导纳米率先将光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节应用于公司产品，并获得了通威股份

和祥云县发展规划，有利于促进祥云县增加财政税收，对区域经济和社会发展具有积极的推动作用。八、其 他招商方向电池片领域聚焦清洗制绒、PECVD(气相沉积)、丝网印刷、激光开槽设备;光伏组件聚焦串焊机、激光划片机设

聚焦清洗制绒、PECVD（气相沉积）、丝网印刷、激光开槽设备；光伏组件聚焦串焊机、激光划片机设备，重点对接相关行业龙头企业。合作方式合资、独资、合作联系方式联系单位：祥云县投资促进局联 系 人：张秋萍联系电话：0872-3120001（传真）电子邮箱：ynxyzsg@163.com

具有积极的推动作用。八、 其他招商方向电池片领域聚焦清洗制绒、PECVD（气相沉积）、丝网印刷、激光开槽设备；光伏组件聚焦串焊机、激光划片机设备，重点对接相关行业龙头企业。合作方式合资、独资、合作

大致分为LPCVD本征+磷扩(低压力化学气相沉积法)、PECVD原位掺杂、PVD原位掺杂(即物理气相沉积法)。要做TOPCon，钝接结构制备是基础，但要做好TOPCon，正面硼扩散是相关企业要解决的