PECVD
（一）太阳能发电产业发展前景广阔来源：solarbe.com 发布时间：2007-06-05 15:34:00
薄膜太阳能电池和非晶硅薄膜太阳能电池是较好的选择。 制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺。多晶硅薄膜电池由于所使用的硅材料
国家发展改革委关于印发《可再生能源产业发展指导目录》的通知来源：solarbe.com 发布时间：2007-05-23 10:24:10
，PECVD镀膜设备，丝网印刷设备，烘干烧结设备，划片机，自动焊接机，组件层压机等等。 技术研发或引进 44 太阳能电池测试设备 包括：太阳能电池分选设备，太阳模拟仪，高压绝缘测试设备
（二）非晶硅太阳能电池进一步的发展与现状来源：solarbe.com 发布时间：2007-05-22 17:12:10
RF-PECVD最近邻的技术有，超高真空PECVD技术，甚高频（VHF ） PECVD技术和微波（包括ECR） PECVD技术。激发等离子体的电磁波光子能量不同，则气体分解粒子的能量不同，粒子生存寿命
