PECVD
、磷扩散、氧化及退火设备等；镀膜设备主要包括LPCVD和PECVD设备等；自动化设备为可以有效提升工艺设备生产效率的配套上下料设备。2020-2022年，拉普拉斯实现营业收入4072万元、1.04亿元
人民币4.41亿元(含税)，合同标的为包括但不限于ALD设备、PEALD设备、PECVD设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等。【光伏快报】2023年6月14日 #公众号：索比光伏网 精选光伏资讯!
、PEALD设备、PECVD设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等。微导纳米表示，本次交易对手方是公司首次合作客户，合同的签订标志着公司客户拓展和TOPCon电池工艺整线技术的市场推广取得了积极成效
技术路线以高质量膜层和工艺窗口灵活等优势越来越被客户所认可，本次在客户端整线调试的结果有效验证了PE-poly在上规模量产的优势，为管式PECVD在TOPCon双面poly的开发及应用奠定了良好的技术基础
，利用连接的执行器件精确调节加热器等负载的温度。是工业生产、自动化产线上必不可少的核心配件。而与普通PID温控器不同，半导体生产设备中许多环节，比如扩散、氧化、刻蚀、PECVD等过程使用的串级温控器需要
生产效率。作为我国高端电子制造装备的“国家队”，近年来，中国电科依托在集成电路装备领域的深厚积淀，持续推进产品迭代升级和产业化应用。截至目前，先后推出首台国产铸锭炉、管式PECVD、扩散炉、等离子体刻蚀
机等高端装备，深度服务国内80%的光伏企业，拳头产品PECVD设备市占率行业第一。抢抓行业发展趋势，围绕TOPCon电池领域，中国电科自主研制了LPCVD、硼扩散、PEOCVD设备、石墨舟/石英舟
生产效率。作为我国高端电子制造装备的“国家队”，近年来，中国电科依托在集成电路装备领域的深厚积淀，持续推进产品迭代升级和产业化应用。截至目前，先后推出首台国产铸锭炉、管式PECVD、扩散炉、等离子体刻蚀
机等高端装备，深度服务国内80%的光伏企业，拳头产品PECVD设备市占率行业第一。抢抓行业发展趋势，围绕TOPCon电池领域，中国电科自主研制了LPCVD、硼扩散、PEOCVD设备、石墨舟/石英舟
增加。针对行业痛点，我们提供定制化的干法清洗解决方案，实现石墨舟的快速高效清洗，干法清洗石墨舟设备工艺时间在2.5小时及以下，能大幅度降低清洗时间，减少员工劳动强度。针对另一难题，我们研发立式PECVD
、清洗剂等产品。产品研发背景来看，主要有LPCVD、PECVD和PVD三种，
从研发机理来看，分成了POLY、PSG、BPSG的腐蚀速率，我们做到了在增强POLY腐蚀速率同时，降低PSG和BPSG的
获得了行业的认可。除钙钛矿技术外，红太阳光电还深度布局TOPCon、 PERC以及 HJT 电池工艺路线和智能制造板块，积极发展科技创新，拥有行业单项冠军PECVD、PE-POLY、干法清洗、大产能
及压升率一系列关键技术指标，自创快速冷却技术和柔性炉门专利技术，构建了独特的设备特色，研制了技术水平和量产效果引领行业的新一代大产能低压硼扩散设备，是其在TOPCon赛道继单项冠军PECVD之后获得
