PECVD

属于批次式操作，虽然容易进行质量控制，但不易实现自动化。当前连续扩散已经实现产业化，污染小，但在线连续生产需要更大的资金投入。 镀膜工艺是提高电池效率的重要步骤，采用PECVD(等离子

目所研制的光伏生产线核心装备PECVD设备完成了关键技术指标，样机已在上海太阳能科技有限公司生产线上实际运作半年以上并取得良好效果。该项目的成功验收标志着国内首台具有核心自主知识产权的PECVD核心
光伏生产线装备取得了零的突破。 在光伏生产线建设中，设备的投资约占70%以上，虽然近年来我国光伏生产线的投资数额不断增大，但是核心装备PECVD却全部依赖于进口。太阳能电池片的加工生产与

完全需要进口；PECVD 氮化硅沉积设备、丝网印刷机、电池片分选机、串联焊接机等性能均不能满足现代化生产需要。这些设备都需要全套引进，等等。 这些差距同研发基础和工业基础薄弱有关。企业通过

㎡。研发生产中心包括半导体电路级要求的净化车间、高纯水系统、清洗制绒间、高温扩散炉、链式烧结炉、烘干炉，RTP炉、等离子刻蚀机、PECVD硅烷沉积设备等组成的125×125 mm、155×155 mm

片项目产业链长、技术水平高、发展前景大，具有很强的产业带动作用。为了实现均衡配套发展，有必要加大硅烷、VEA和低铁玻璃的研发与投资。同时，逐步实现拉晶炉、铸晶炉、扩散炉、烧结炉、丝网印刷机、PECVD

大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大。此外
,全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式PECVD则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。硅材料加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割

，提供所需的材料和解决方案以实现太阳能的利用。就中国太阳能制造行业的供应商而言，我们注意到市场上本土的设备供应商数量正在增长。然而，对于关键的生产设备，如PECVD扩散、焙烧炉以及丝网印刷等，主要的设备

依靠三大关键制造装备，即扩散炉， PECVD设备和丝网印刷机。其中应用于太阳能电池片扩散后，表面沉积一层减反射膜，形成“黑洞”吸收太阳光的PECVD设备又是关键中的关键。但由于其技术含量高、被少数
发达国家垄断，价格昂贵。在省科技厅支持下，中电48所集中力量研发PECVD设备，经过艰苦攻关，2005年成功研发出单管PECVD设备。“免费给客户使用，客户满意后再付款”，中电48所承诺。单管PECVD设备

性价比优势明显；管式PECVD工艺结构接近国际先进水平，正逐步进入大生产线，但相对于进口平板连接式PECVD设备，自动化程度(自动装卸片)和产量都相对较低；高温烧结炉与国际先进水平有一定差距，但差距不大

Oerlikon作为全球首家提供薄膜太阳能模块Turn-Key服务的厂商，其薄膜太阳能电池组件技术方案采用了非晶硅和微晶硅叠层薄膜技术，提供包括导电玻璃（TOC）制作，PECVD淀积，激光切割等