PECVD

。太阳能电池制造大部分工序使用的制造装置都实现了中国境内采购（注8）。但全自动丝网印刷机和平板式PECVD装置仍依赖进口。 　　除太阳能电池的制造设备外，上游的多晶硅铸锭炉和下游的检测器也能在国内采购到

主导地位，2种(管式化学气相淀积设备PECVD、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大。此外，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式PECVD则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得

市场份额。中国电子科技集团公司第48所已具备了向客户提供完整的太阳电池生产线交钥匙工程的能力，北京七星华创电子公司也在展会上推出了最新研制开发的平板PECVD设备，改变了过去国内厂家只能提供管式PECVD

市场份额。中国电子科技集团公司第48所已具备了向客户提供完整的太阳电池生产线交钥匙工程的能力，北京七星华创电子公司也在展会上推出了最新研制开发的平板PECVD设备，改变了过去国内厂家只能提供管式
PECVD设备的局面。 但在薄膜太阳电池制造设备方面，则基本上是国外设备的天下。展会上Oerlikon、Applied Materials和ULVAC的非晶硅/微晶硅薄膜太阳电池生产设备均引起业内参观者的

许多工业领域，其中包括进行太阳能电池生产加工的大型PECVD设备也有适用于大学及科研机构进行研发和小规模生产的小型设备。产品的组成主要包括了不同尺寸的等离子体源和离子束源(plasma and ion

，低价劣质的薄膜太阳能电池，对尚未成熟的薄膜市场恐怕又会出现干扰，对价格也将有影响。 　　台湾设备厂则认为，短期虽影响不大，不过若国内设备厂已有能力研发整线设备，包括关键制程(PECVD、雷射画线机等

将对于海外设备厂分食中国设备商机，带来相当大的影响。 其实国内少数设备厂商商已拥有自制整条太阳能电池设备的能力，包括关键制程的化学气相沉积(PECVD)、激光画线机等，都已自行研发量产，并且供货给

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的硅材料短缺日益严重，使得人们加紧了硅基薄膜太阳能电池的研发。人们的主要目标是提高效率，提高稳定性，降低制造成本，其基本技术是使用PECVD(等离子增强化学气相淀积)技术沉积非晶硅或微晶硅薄膜，衬底是
第二代技术将退出产业界。 在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类，可以划分出以下5种设备模式：单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar)、串联线列式多室单片PECVD沉积系统

的不断扩大，以及由此造成的硅材料短缺日益严重，使得人们加紧了硅基薄膜太阳能电池的研发。人们的主要目标是提高效率，提高稳定性，降低制造成本，其基本技术是使用PECVD(等离子增强化学气相淀积)技术沉积
年投入大规模生产，届时第一代和第二代技术将退出产业界。 在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类，可以划分出以下5种设备模式：单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar)、串联线列