PECVD

新一代高性价比、高产能、高可靠性的非晶硅薄膜太阳能电池生产线。 其核心设备：新一代等离子强化型化学气相沉积（PECVD）系统拥有完全自主知识产权，在多基板-致密沉积类别的设备家族中，解决了射频不稳定和
设备PECVD及工艺技术　　自主开发关键设备PVD的工艺技术　　光伏电池生产工艺需求及系统的优化设计　　所有设备的工艺过程全自动化　　标准生产线年产能 30 MW（可分阶段实现）　　非晶硅薄膜单结

，然而关键制程如化学器气象沉积(PECVD)、烧结炉(Firing Furnace)、扩散炉(Diffusion)等仍技术不足。 　　晶硅与薄膜制程 　　回归到制程设备来看台湾厂商的发展现况，首先谈较
Solar Cell)，则是一种利用溅镀或是化学气相沉积方式，在玻璃或金属基板上，生成薄膜的薄膜太阳能生产方式。其制程是先清洗玻璃基板(Glass Cleaning)，而后藉由化学气象沉积(PECVD

等离子强化型化学气相沉积（PECVD）系统拥有完全自主知识产权，在多基板-致密沉积类别的设备家族中，解决了射频不稳定和高温操作等弊端，占据了光伏设备技术的世界领先地位。“双星—3000”目前的最佳配置
诚信发展用户，并将支撑国内一大批企业迅速进入这个前景广阔的绿色产业，这将有利地推动太阳能光伏产业的蓬勃发展，引领新一代“中国创造”走向辉煌。 双星-3000的特点：·自主研发核心设备PECVD及

(125mm125mm)的高产能，PECVD实际工艺效果得到进一步的提升，色差现象基本消除，目前已累计装备近700MW的国内外生产线。快速烧结炉产品在温度均匀性、稳定性、冷却效果等方面持续提高。值得一提的是，由
技术服务，加快研发国产空白产品，尽早提供国产装备的整套解决方案应该是国内太阳能装备厂商的努力方向。其实国内少数设备厂商已拥有自制整条太阳能电池生产设备的能力，包括关键制程的化学气相沉积(PECVD)等

的需要。而装片量达196片/管(125mm125mm)的高产能，PECVD实际工艺效果得到进一步的提升，色差现象基本消除，目前已累计装备近700MW的国内外生产线。快速烧结炉产品在温度均匀性、稳定性

期 R. F. Weiss 等，“地球大气层中存在的三氟化氮”，“地球物理研究学”，2008年6月第35期中 M. Schottler 等，“用氟气对PECVD腔室的碳排放进行清洗”，第
23届欧洲光伏太阳能会议纪要，2008年9月1日-5日 M. Riva，“氟气混合气作为无RPS辅助的PECVD系统的腔室清洗气体”，2008西方半导体会议，2008年7月 M

不如结晶硅太阳能电池，但材料成本比重低，系统装置容易且具弹性，应用层面也较为广泛，唯一缺憾是生产大尺寸面积的设备昂贵，尤其是制造非晶硅薄膜电池的PECVD(等离子增强型化学气相沉积)设备，其价格是传统
市场竞争将是一场资本实力的竞赛。 　　　　应主攻发电市场 　　　　薄膜太阳能电池在制造技术上部分与液晶面板相通。按理台湾应该具有发展薄膜太阳能电池的优势，但问题是我们无法掌握关键PECVD设备的工艺

渗透到许多电子产品的制造领域，其中最典型的是平板显示器件和太阳能电池领域(二者均含有半导体工艺及设备，其主流材料也未离开硅)，例如晶硅太阳能电池生产线中的单晶炉、扩散炉、PECVD(等离子增强化学气相
淀积)设备，薄膜太阳能电池生产线中的PECVD、PVD（离子镀膜）设备等。在集成电路、平板显示器件和太阳能电池三种制造设备中，国产太阳能电池设备是其中发展最快和最好的。据有关行业协会统计，2008年

万美元的投资中剩余的540万美元保障。这一功率是通过改良制作流程以及生产平台"Viper"的最优化而取得的。其中涉及公司自行研发的全自动等离子化学蒸汽分离系统（PECVD）。"Viper"的独到之处

万美元的投资中剩余的540万美元保障。 这一功率是通过改良制作流程以及生产平台"Viper"的最优化而取得的。其中涉及公司自行研发的全自动等离子化学蒸汽分离系统（PECVD）。"Viper"的独到之处