PECVD

太阳能电池制造装备的龙头供应商。该所先后成功开发了扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、多晶炉、清洗机等光伏装备。　　长沙和台湾拥有广阔的合作前景据悉，台湾在光伏产业这一块起步比较早，发展也比较

能看到太阳能PECVD和扩散退火设备整装待发，即将发往客户。作为国内最大的气体质量流量计供应商，今年七星将有一万个MFC销往国内外客户。七星集成电路工艺设备研发中心总经理盛金龙说，七星的半导体设备还将

。全自动丝网印刷机、自动分检机、平板式PECVD等三种设备近期内尚需完全依赖进口。　　产业全面提升下的隐忧2008年以来，我国太阳能光伏产业的发展受全球金融危机的冲击，订单缩减、业绩有所下滑，不过，受

全面的科技创新鼓励政策，选定相关行业领军企业给予重点支持。七星华创副总经理张国铭在接受记者采访时表示，目前七星华创正在开发晶体硅及薄膜太阳能设备，如清洗及PECVD设备的新型号，并且为满足国内

华创正在开发晶体硅及薄膜太阳能设备，如清洗及PECVD设备的新型号，并且为满足国内TFT-LCD产业的飞速发展，七星华创积极与国外厂商合作，加强5代、6代线设备的研发，目前，他们已经能为客户提供产品

gdaoOrient Science ＆ Technology）成为了焦点。在5月的SNEC2009展会上，北方微电子（North NMC）展出了PECVD设备（注13）。而在此之前，中国的晶体型太阳能电池
设备中，丝网印刷和PECVD基本依赖进口。因此，北方微电子的PECVD设备汇聚了极大的关注和期待。 　　在上述设备的国产化进程中，除了各家设备公司的经验积累外，产业界的协助也非常重要。尚德的张光春

洛克产品的设计是为关键性的太阳光电生产制程，提供可靠及密封的性能，例如等离子体增强化学气相沉积 (简称PECVD)和扩散。这一类制程皆要求低泄漏率，确保安全性、制程气体纯度控制及精确气体传输，以便保证

等离子体增强化学气相沉积，简称PECVD和扩散）提供可靠的无泄漏性能。这些和其它工艺需要低泄漏率以确保安全性、工艺气体纯度控制及精确气体传输，以便保证电池的整体性并降低废品率。 世伟洛克光伏工艺

研究，并提出了很多方法。目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积（LPCVD）和等离子增强化学气相沉积（PECVD）工艺。此外，液相外延法（LPPE）和溅射沉积法也可用来制备
生载流子抽出；③底电池产生的载流子约为单电池的一半，光致衰退效应减小；④叠层太阳能电池各子电池是串联在一起的。　　非晶硅薄膜太阳能电池的制备方法有很多，其中包括反应溅射法、PECVD法、LPCVD法等

。” 　　例如，晶体太阳能电池的正面需要一个防反射层，背面需要一个接触层。目前，反射层采用PECVD工艺涂覆，背面接触层采用丝网印刷方法制备；传统的生产设备体积庞大，必须经常清洁和保养，需要另外配备洗涤器等