PECVD

Micromorph实验室，由美国国家可再生能源实验室(NREL)确认该电池的稳定效率为11.9%。 　　欧瑞康表示，新ThinFab生产线整合了多项改进，包括 离子增强化学气相沉积(PECVD)设备、透明导电

Technology Conference”上京瓷发表了有关演讲。 　　实现13.8％转换效率的是叠加非晶硅层和微晶硅层的串联构造的薄膜硅太阳能电池。京瓷在其中微晶硅层的形成方面，采用了称为Cat-PECVD
的方法。 　　普通的PECVD方法是将SiH4和H2同时放入反应室中。而京瓷则是将加热到1800℃的钨（W）丝和钽（Ta）丝等作为触媒（Catalyzer）分解H2，然后再导入反应室中。这样，就可形成

增长，不可能爆发性地增长。AppliedMaterials是全球第一大半导体设备厂家，也是全球第二大TFT-LCD设备厂家，同时还是全球第一大光伏设备厂家。在各类光伏设备中，PECVD是最昂贵的，而
AppliedMaterials是PECVD霸主，市场占有率接近90%.2010年7月底，AppliedMaterials重组了连续出现营业赤字的能源及环境解决方案部门

TFT-LCD设备厂家，同时还是全球第一大光伏设备厂家。在各类光伏设备中，PECVD是最昂贵的，而AppliedMaterials是PECVD霸主，市场占有率接近90%.2010年7月底
。 　　Centrotherm产品线最为齐全，也有难度很高的PECVD技术，客户集中在亚洲，尤其是台湾。台湾的茂迪、益通、昱晶、升阳、茂硅、富阳、耀华、绿能、升阳科、新日光全部都是采用

，为此我们感到非常骄傲，同时证明了我们的技术有进一步的发展潜力。” 新的ThinFab方案采用了一系列领先于欧瑞康太阳能技术路线图的改进措施： 新一代的核心设备PECVD，TCO和 Laser 降低

，稳定后的转换效率为10％，最大输出功率可达到143W。之所以能够削减制造成本，是因为随着光吸收层的薄型化及制造装置的改进，处理能力提高及材料消耗量减少等。PECVD装置、TCO成膜装置及激光划片

的串联构造，稳定后的转换效率为10％，最大输出功率可达到143W。 　　之所以能够削减制造成本，是因为随着光吸收层的薄型化及制造装置的改进，处理能力提高及材料消耗量减少等。PECVD装置、TCO成

：10%的稳定模块效率；更薄的电池结构，能量衰减更少，燃气消耗量更低；具有更高性能的新一代PECVD、TCO和激光；新的模块设计等。　　欧瑞康称，ThinFab将薄膜硅模块的能源投资回收时间缩短至一年

太阳能技术路线的计划： 新一代核心设备：等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备、透明导电氧化物（TCO）和激光 更薄的电池结构，减少了退化和耗气量 10%的稳定组件效率（每组件143峰瓦） 基于简化

ThinFab方案采用了一系列领先于欧瑞康太阳能技术路线图的改进措施：1、新一代的核心设备电浆辅助式化学气相沈积(PECVD)、透明导电玻璃(TCO)和雷射设备(Laser)等，2、降低衰减率和减少气体消耗