PECVD

技术有进一步的发展潜力。” 新的ThinFab 方案采用了一系列领先于欧瑞康太阳能技术路线图的改进措施： 新一代的核心设备PECVD，TCO 和 Laser

模块效率（每模块143瓦特）更薄的电池结构，能量衰减更少，燃气消耗量更低具有更高性能的新一代PECVD、TCO和激光新的模块设计，基于简化的新型后端设备而配置了新的低压模块 ThinFab将薄膜硅

PECVD技术，PSG去除技术以及抗反射层技术。 PN节扩散步骤的技术由其合作伙伴公司提供。Singulus公司前沿的系统工艺目前已经被欧洲的某个太阳电池生产商采用，而且在2010年7月九已经成功的在
两个湿法化学床和一个Singular PECVD工具上施用。 另外在第25届西班牙瓦伦西亚举办的EU PVSEC展览会上，该公司还展示了其晶硅电池的抗反射层，这种创新的工具概念是基于在静电基层的生产过程中结合了透明的衬里基层传输的其产生的静电。

铂阳购买三批生产线设备，并分别在未来三年交付，每批生产线设备包括140台等离子体增强化学气相沉积炉PECVD设备及30台物理气相沉积炉PVD，价值66.13亿港元。铂阳应于该批生产线首笔预付款(相当于

等离子体增强化学气相沉积炉PECVD设备及30台物理气相沉积炉PVD，价值66.13亿元。另外，交付每批设备预付款后，汉能会以每股0.239元，分三批向铂阳认购合共49.1亿股，涉资达11.7亿元，首批

带来损伤。应材的Avila system可提供淀积极均匀且低温的PECVD薄膜，并保证产出率。 随着Avila system的推出，Applied Materials成为全球第一家能提供全套TSV

升级改造内容为：新购瑞士欧瑞康4台化学气相沉积设备（PECVD），同时另购置4台（进口）尾气处理设备。本项目需新增建设投资约4.22亿元，拟由天威薄膜自筹资金。 　　本次技术升级完成后，一期项目产能

元件之生产设备，铂阳分三个阶段生产及交付三批生产线。每批生产线均包括（其中包括）140台等离子体增强化学气相沉积炉 PECVD 设备及30台物理气相沉积炉设备 PVD 设备（太阳能光伏组件生产系统新

具有25年的经验，开发出HWCVD和VHF PECVD来制造高效低成本电池器件。 1996年，其参与发明的柔性电池的卷对卷技术，在世界领域内堪称一种全新的技术。同时，其在乌特勒支大学组建起的半导体研发

VHF PECVD来制造高效低成本电池器件。1996年，他参与发明了柔性电池的卷对卷技术，这在世界领域内是一种全新的技术，具有广阔的应用空间和前景。同时，他在乌特勒支大学组建的半导体研发试验室和太阳能