PECVD

据悉，我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)1月8日在上海理想能源设备公司(下文简称理想能源)成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被

　　8日，我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(PECVD)在上海理想能源设备公司(下文简称理想能源)成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外

区别在于PECVD工艺，后者在镀膜的过程中需要40MH的超高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。所以Oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在PECVD设备超高频电源与反应器装置的

，晶体硅电池生产线上80%的核心设备达到自制化，非晶硅电池生产线达到设备全套自制化。现拓日新能继成功研制出单晶炉、拉晶棒、磁控溅射、PECVD等关键设备自制技术及生产工艺后，在硅片生产领域的关键设备——多线

表现，法人预估，今年八阳年营收可达1亿元，明年在新PECVD设备迁入解除生产瓶颈后，明年营收可达3-3.5亿元的水准。 八阳为光学膜厂迎辉(3523)所转投资的薄膜太阳能厂，于2007年1月成立
优势。 八阳目前产能为8MW，产品以130瓦为主，由于缺PECVD机台，故目前产能面临瓶颈窘境，公司预计在明年初进行约7-8亿元的募资案后，将在明年中移入PECVD机台后，明年八阳产能可达30MW

制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和
进口设备并存，但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式PECVD)则依赖进口。组件生产用的层压机等在行业获得广泛应用，单晶炉已出口，DXQ-601型太阳能多线切割机已批量进入国内

集团和湖南省市政府的高度重视和大力支持下，48所先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、PECVD、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备并成功推向市场，成长为国内最大的太阳能电池制造装备
。 48所自1964年成立以来，一直致力于离子注入机、高温扩散/氧化系统、PECVD等微电子设备的研究，而光伏设备属于微电子设备中相对简单的分支。早在上世纪80年代末90年代初，48所就开始与18所

SiH4、镀膜靶材）、光电设备供应商（晶硅生长炉、扩散炉、清洗/制绒设备、等离子刻蚀机、硅片研磨机、PECVD设备、激光切割机、激光划线设备、组件压层、测试设备等）、能源公司/电力公司、光伏相关

的生产废水一起排至开发区污水处理厂。⑵废气　　项目大气污染物主要是生产车间工艺废气，主要包括制绒酸性废气、扩散前酸洗废气、磷扩散废气、边缘蚀刻废气、去PSG废气、等离子气相沉积（PECVD）废气及

Micromorph实验室，由美国国家可再生能源实验室(NREL)确认该电池的稳定效率为11.9%。 　　欧瑞康表示，新ThinFab生产线整合了多项改进，包括 离子增强化学气相沉积(PECVD)设备、透明导电