EPV

，电池生产工艺分为单室多片、多室单片和连续卷对卷技术。设备供应商主要有Oerlikon、Applied Material、Ulvac、Evatech、Leyhold optics、EPV

EPV公司的低成本生产技术，但由于EPV公司的PECVD功率较低，一条生产线的产能不大，电池效率也不高，约在6%～7%左右。近年来国内有些企业也采用瑞士欧瑞康等公司的全套进口设备，如河北新奥购置美国

①单室、多片玻璃衬底制造技术（源于匈牙利Dr.Kiss），该技术属于传统技术，主要以美国的Chronar、APS、EPV公司为代表；②多室、双片（或多片）玻璃衬底制造技术，该技术为现代技术，以日本的

以及 EPV；这四家设备厂商所供应的产能达到了946MW (9亿4,600万瓦)，也就是所有非晶硅产能的一半。 ˙依照2009年全球太阳能电池(Cell)的产能来看，First Solar 是最大

年时薄膜技术预计达到全球总产能的20%，2013年时预计成长到30%;●针对非晶硅(a-Si)的生产产能，2009年的主要四家设备供货商为AMAT, Oerlikon, ULVAC 以及 EPV, 这四

真空公司、德国的莱宝真空公司、美国的EPV公司等。这些公司可以提供成套的非晶硅或者非晶硅/微晶硅双叠层太阳能电池制造设备以及相匹配的生产制造工艺。 硅基薄膜电池出现投资热潮 在世界范围内出现了硅基薄膜
第二代技术将退出产业界。 在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类，可以划分出以下5种设备模式：单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar)、串联线列式多室单片PECVD沉积系统

Oerlikon公司、日本的日本真空公司、德国的莱宝真空公司、美国的EPV公司等。这些公司可以提供成套的非晶硅或者非晶硅/微晶硅双叠层太阳能电池制造设备以及相匹配的生产制造工艺。 硅基薄膜电池出现投资热
年投入大规模生产，届时第一代和第二代技术将退出产业界。 在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类，可以划分出以下5种设备模式：单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar)、串联线列

Solarbe报道/台湾鑫笙能源科技公司在技术移转协作厂商EPV Solar协助下，大尺寸薄膜式太阳能电池日前获取IEC 61646认证，成功进军欧洲市场。 鑫笙能源总经理魏宇民表示
非晶硅薄膜式电池对硅原料的依存度非常低，非晶硅薄膜式比重将逐年增加，甚至可望替换硅晶太阳能电池。 鑫笙能源选择以非晶硅薄膜式太阳能电池模块为主要产品，在2006年10月与EPV Solar公司签约，引进

美国Chronar技术的大丰能源、与日本真空（Ulvac ）技术合作的联相（属联电集团）、与NanoPV技术合作的威奈联合、与EPV技术合作的鑫笙及近期宣布投入薄膜太阳能领域的绿能（属大同集团），等等

EPV SOLAR, Inc.公司签约，引进其薄膜式太阳能电池生产技术与设备，今年五月顺利进入量产阶段，初期年产能为600万瓦。EPV SOLAR, Inc.公司自1991年成立以来即致力于发展自有设备
IEC61730-2等国际认证，在来自技术移转合作厂商EPV Solar, Inc.协助下，可望于2008年第3季顺利取得。鑫笙能源持续开发薄膜式太阳能电池各种应用市场，而建筑一体整合式太阳能电池模块 (BIPV